Методология и методы физико-химического анализа в разработке технологических процессов производства электронной компонентной базы

Н.А. Томилин; В.С. Серегин; В.П. Марин; И.К. Кудрявцев; Л.В. Пилавова; Е.С. Пилавова

Методология и методы физико-химического анализа в разработке технологических процессов производства электронной компонентной базы

Н.А. Томилин¹, В.С. Серегин², В.П. Марин³, И.К. Кудрявцев⁴, Л.В. Пилавова⁵, Е.С. Пилавова⁶

научная статья Страницы: 37-47

¹ д.т.н., начальник отдела, ЗАО «НПО «НИИТАЛ» (Москва)
² д.т.н., ген. директор ЗАО «НПО «НИИТАЛ» (Москва)
³ академик АПК, д.т.н., профессор, Московский государственный университет bнформационных технологий, радиотехники и электроники (МИРЭА)
⁴ к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, МГУ им. М.В. Ломоносова (Москва)
⁵ к.х.н., зам. ген. директора, ЗАО «НПО «НИИТАЛ» (Москва)
⁶ вед. инженер, ЗАО «НПО «НИИТАЛ» (Москва)

Ключевые слова: физико-химический анализ состав структура свойство технология

Аннотация

Приведены результаты комплексных исследований состава, структуры и свойств материалов с использованием современных методов физико-химического анализа (ФХА), выполненных при разработке различных технологических процессов производства материалов и компонентов изделий электронной техники (технологии изготовления импрегнированных катодов, технологии металлизации алюмонитридной керамики). Получены результаты, свидетельствующие об эффективности использования методологии и современных аналитических методов ФХА при разработке и контроле технологических процессов производства электронной компонентной базы.

Для цитирования

Томилин Н.А., Серегин В.С., Марин В.П., Кудрявцев И.К., Пилавова Л.В., Пилавова Е.С. Методология и методы физико-химического анализа в разработке технологических процессов производства электронной компонентной базы // Наукоемкие технологии. 2016. № 1. С. 37–47.

Список источников

Аносов В.Я., Озерова М.И., Фиалков Ю.А. Основы физико-химического анализа. М.: Наука. 1976. 503 с.
Гоулдстейн Дж.и др. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ: В двух книгах / Пер. с англ. М.: Мир. 1984.
Saparin G.V., Obyden S.K. Color display of videoinformation in the SEM: Principles and application to physics, geology, soil science, biology and medicine // Scanning. 1988. V. 10. P. 87−106.
Томилин Н.А., Меньшенин Ю.В., Марин В.П.и др. Использование метода цветной катодолюминесценции для исследования материалов изделий электронной техники // Наукоемкие технологии. 2004. Т. 5. № 1. С. 25−28.
Томилин Н.А. Комплексная методика анализа материалов изделий электронной техники с использованием метода цветной катодо-люминесценции // Наукоемкие технологии. 2006. Т. 7. № 4−5. С. 39−42.
Lipeles R.A., Kan H.K.A.Chemical Stability of Barium Calcium Aluminate Dispenser Cathode Impregnants // Application of Surface Science. 1983. V. 16. P. 189−206.
Самсонов Г.В. Неметаллические нитриды. М.: Металлургия. 1969.
Косолапова Т.Я. Неметаллические тугоплавкие соединения. М.: Металлургия. 1985.
Непочатов Ю., Земницкая А., Муль П. Разработка керамики на основе нитрида алюминия для изделий электронной техники // Современная электроника. 2011. № 9. С. 14−16.
Беляков А.В., Кузнецова И.Г., Куфтырев Р.Ю., Пилавова Л.В., Серегин В.С. Металлизация керамики из нитрида алюминия (обзор) // Стекло и керамика. 2012. № 8. С. 26−30.
Торопов Н.А.Диаграммы состояния силикатных систем: Справочник. М.: Наука. 1965. 350 с.
Aluminium Nitride Products // MARUWA CO. LTD. General Catalog. Circuit Ceramics. P. 154.

[1] Аносов В.Я., Озерова М.И., Фиалков Ю.А. Основы физико-химического анализа. М.: Наука. 1976. 503 с.

[2] Гоулдстейн Дж.и др. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ: В двух книгах / Пер. с англ. М.: Мир. 1984.

[3] Saparin G.V., Obyden S.K. Color display of videoinformation in the SEM: Principles and application to physics, geology, soil science, biology and medicine // Scanning. 1988. V. 10. P. 87−106.

[4] Томилин Н.А., Меньшенин Ю.В., Марин В.П.и др. Использование метода цветной катодолюминесценции для исследования материалов изделий электронной техники // Наукоемкие технологии. 2004. Т. 5. № 1. С. 25−28.

[5] Томилин Н.А. Комплексная методика анализа материалов изделий электронной техники с использованием метода цветной катодо-люминесценции // Наукоемкие технологии. 2006. Т. 7. № 4−5. С. 39−42.

[6] Lipeles R.A., Kan H.K.A.Chemical Stability of Barium Calcium Aluminate Dispenser Cathode Impregnants // Application of Surface Science. 1983. V. 16. P. 189−206.

[7] Самсонов Г.В. Неметаллические нитриды. М.: Металлургия. 1969.

[8] Косолапова Т.Я. Неметаллические тугоплавкие соединения. М.: Металлургия. 1985.

[9] Непочатов Ю., Земницкая А., Муль П. Разработка керамики на основе нитрида алюминия для изделий электронной техники // Современная электроника. 2011. № 9. С. 14−16.

[10] Беляков А.В., Кузнецова И.Г., Куфтырев Р.Ю., Пилавова Л.В., Серегин В.С. Металлизация керамики из нитрида алюминия (обзор) // Стекло и керамика. 2012. № 8. С. 26−30.

[11] Торопов Н.А.Диаграммы состояния силикатных систем: Справочник. М.: Наука. 1965. 350 с.

[12] Aluminium Nitride Products // MARUWA CO. LTD. General Catalog. Circuit Ceramics. P. 154.

Аннотация

Для цитирования

Похожие статьи