Эмиттирующие наноструктуры в технологиях изготовления электродов изделий квантовой электроники

П.Г. Третьяков; Т.С. Николаева; С.М. Жданов; В.В. Прасицкий; К.А. Амеличева

Эмиттирующие наноструктуры в технологиях изготовления электродов изделий квантовой электроники

П.Г. Третьяков¹, Т.С. Николаева², С.М. Жданов³, В.В. Прасицкий⁴, К.А. Амеличева⁵

научная статья Страницы: 66-68

¹ аспирант, МГТУ МИРЭА
² аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
³ д.т.н., профессор, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
⁴ д.т.н., директор ООО «Эколюм-Восход» (г. Калуга)
⁵ к.т.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана

Ключевые слова: ионная бомбардировка электронный прибор лазер пленочный электрод срок службы эффект Коржавого

Аннотация

Изложены основные технические аспекты разработки, производства и диагностики свойств пленочных электродов, изготавливаемых в виде наноструктур или наночастиц.

Для цитирования

Третьяков П.Г., Николаева Т.С., Жданов С.М., Прасицкий В.В., Амеличева К.А. Эмиттирующие наноструктуры в технологиях изготовления электродов изделий квантовой электроники // Наукоемкие технологии. 2014. № 8. С. 66–68.

Список источников

Коржавый А.П., Капустин В.И., Козьмин Г.В. Методы экспериментальной физики в избранных технологиях защиты природы и человека. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2012. 352 с.
Никифоров Д.К., Коржавый А.П., Никифоров К.Г. Эмитирующие наноструктуры «металл-оксид металла»: физика и применение: монография / под ред. А.П. Коржавого. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2009. 156 с.
Патент на изобретение №2009586 Rus.Mar. 15. 1994. Гелий-неоновый лазер / Прасицкий В.В., Коржавый А.П., Лищук Н.В., Рожанец А.В.
Патент на изобретение. Rus.May. 28. 1973. Способ приготовления холодных металлических катодов / Коржавый А.П., Файфер С.И., Жданов С.М., Арцыхович В.Ф.
Патент на изобретение №2126185 Rus.Febr. 10. 1999.Способ оценки качества катодов / Голяев Ю.Д., Колбас Ю.Ю., Коржавый А.П., Маш Л.Д., Пролейко Э.П.
Патент на изобретение №2119218 Rus.Sept. 12.1998.Газовый моноблочный лазер / Демиденков Ю.В., Казаков В.Н., Калистратова Г.Н., Колбас Ю.Ю., Коржавый А.П.
Коржавый А.П., Марин В.П., Никифоров Д.М. Процессы переноса в наноструктурах Be-BeO: моделирование интекционных токов, ограниченных пространственным зарядом // Наукоемкие технологии. 2007.Т.8. №4. С.4-10.
Bondarenko G.G., Bazhin A.I., Korzhavyi A.P., Kristya V.I., Aitov R.D. Determination of the Surface Potential of a Dielectric Layer on a Target Bombarded by an low Beam // Technical Physics. The Russion Jurnal of Applied Physics. 1998. V. 43. № 9. Р. 1121-1122.
Bondarenko G.G., Korzhavyi A.P. Influence of Surface Oxidation on the Structure and Properties of Cold Metal Cathodes // Russion Physics Jurnal. 2007.V.50.№ 2. Р. 125-133.
Пролейко Э.П., Коржавый А.П.Определение качества и срока службы холодных катодов на основе эмитирующих структур «металл-диэлектрик» // Наукоемкие технологии. 2010. Т. 11. № 11. С. 22-28.
Патент на изобретение №947644 Rus.Apr. 01.1982. Устройство для измерения толщины пленок на металлических подложках / Бажин А.И., Коржавый А.П., Белик В.А., Ступак В.А.
Марин В.П., Жданов С.М., Пелинцева Н.И. Основные физические процессы, используемые в технике обеспечения высокой долговечности малогабаритных лазеров на химически активных средах // Наукоемкие технологии. 2006. Т. 10. № 11. С. 49-56.
Яранцев Н.В., Чистяков Г.А., Коржавый А.П., Марин В. П., Никифоров Д.К. Методы экспериментальной физики в технологиях защиты окружающей среды и человека // Наукоемкие технологии. 2009.Т.10. №5. С.60-64.
Хворостов В.И., Горбунов А.К., Хворостова Н.Н., Силаева Н.А. Физико-технологические особенности применения эмитирующих структур в газоразрядных лазерных датчиках // Наукоемкие технологии. 2012.Т.13. №10. С.34-39.
Раджабов Т.Д., Аслиддинова М.Ю., Расулов П.М., Коржавый А.П. О механизме увеличения электрической прочности вакуумных промежутков при ионной обработке поверхности электродов // Поверхность. Физика, химия, механика. 1983. № 9. С. 132-135.
BondarenkoG.G.,KorzhavyiA.P.,ChistyakovG.A.Behavior of Aluminum-Based Composite Cold Cathodes in a Glow Discharge // Russian metallurgy (Metally). 2005. № 3. P. 269-272.
Коржавый А.П., Кристя В.И.О распределении потенциала в катодном слое тлеющего разряда // Журнал технической физики. 1993. Т. 63. В. 2. С. 200-202
Никифоров Д.К., Коржавый А.П., Никифоров К.Г., Бондаренко Г.Г. Поверхностная и объемная модификация эмитирующих наноструктур Al-AlN и Al-Al₂O₃ионной бомбардировке // Известия ВУЗов. Физика. 2013. Т. 56. № 1/2. С. 23-26.
Патент на изобретение №1101924 Rus. Mar. 07.1983.Металлопористый катод прямого накала / Чигринец В.Д., Каменцев В.Е., Бобрецов В.В., Коржавый А.П., Файфер С.И.
Научно-исследовательский институт «ПОЛЮС» им. М.Ф. Стельмаха. 50 лет. М.: Техносфера. 2012. 220 с.

Полный текст, PDF 350 ₽

[1] Коржавый А.П., Капустин В.И., Козьмин Г.В. Методы экспериментальной физики в избранных технологиях защиты природы и человека. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2012. 352 с.

[2] Никифоров Д.К., Коржавый А.П., Никифоров К.Г. Эмитирующие наноструктуры «металл-оксид металла»: физика и применение: монография / под ред. А.П. Коржавого. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2009. 156 с.

[3] Патент на изобретение №2009586 Rus.Mar. 15. 1994. Гелий-неоновый лазер / Прасицкий В.В., Коржавый А.П., Лищук Н.В., Рожанец А.В.

[4] Патент на изобретение. Rus.May. 28. 1973. Способ приготовления холодных металлических катодов / Коржавый А.П., Файфер С.И., Жданов С.М., Арцыхович В.Ф.

[5] Патент на изобретение №2126185 Rus.Febr. 10. 1999.Способ оценки качества катодов / Голяев Ю.Д., Колбас Ю.Ю., Коржавый А.П., Маш Л.Д., Пролейко Э.П.

[6] Патент на изобретение №2119218 Rus.Sept. 12.1998.Газовый моноблочный лазер / Демиденков Ю.В., Казаков В.Н., Калистратова Г.Н., Колбас Ю.Ю., Коржавый А.П.

[7] Коржавый А.П., Марин В.П., Никифоров Д.М. Процессы переноса в наноструктурах Be-BeO: моделирование интекционных токов, ограниченных пространственным зарядом // Наукоемкие технологии. 2007.Т.8. №4. С.4-10.

[8] Bondarenko G.G., Bazhin A.I., Korzhavyi A.P., Kristya V.I., Aitov R.D. Determination of the Surface Potential of a Dielectric Layer on a Target Bombarded by an low Beam // Technical Physics. The Russion Jurnal of Applied Physics. 1998. V. 43. № 9. Р. 1121-1122.

[9] Bondarenko G.G., Korzhavyi A.P. Influence of Surface Oxidation on the Structure and Properties of Cold Metal Cathodes // Russion Physics Jurnal. 2007.V.50.№ 2. Р. 125-133.

[10] Пролейко Э.П., Коржавый А.П.Определение качества и срока службы холодных катодов на основе эмитирующих структур «металл-диэлектрик» // Наукоемкие технологии. 2010. Т. 11. № 11. С. 22-28.

[11] Патент на изобретение №947644 Rus.Apr. 01.1982. Устройство для измерения толщины пленок на металлических подложках / Бажин А.И., Коржавый А.П., Белик В.А., Ступак В.А.

[12] Марин В.П., Жданов С.М., Пелинцева Н.И. Основные физические процессы, используемые в технике обеспечения высокой долговечности малогабаритных лазеров на химически активных средах // Наукоемкие технологии. 2006. Т. 10. № 11. С. 49-56.

[13] Яранцев Н.В., Чистяков Г.А., Коржавый А.П., Марин В. П., Никифоров Д.К. Методы экспериментальной физики в технологиях защиты окружающей среды и человека // Наукоемкие технологии. 2009.Т.10. №5. С.60-64.

[14] Хворостов В.И., Горбунов А.К., Хворостова Н.Н., Силаева Н.А. Физико-технологические особенности применения эмитирующих структур в газоразрядных лазерных датчиках // Наукоемкие технологии. 2012.Т.13. №10. С.34-39.

[15] Раджабов Т.Д., Аслиддинова М.Ю., Расулов П.М., Коржавый А.П. О механизме увеличения электрической прочности вакуумных промежутков при ионной обработке поверхности электродов // Поверхность. Физика, химия, механика. 1983. № 9. С. 132-135.

[16] BondarenkoG.G.,KorzhavyiA.P.,ChistyakovG.A.Behavior of Aluminum-Based Composite Cold Cathodes in a Glow Discharge // Russian metallurgy (Metally). 2005. № 3. P. 269-272.

[17] Коржавый А.П., Кристя В.И.О распределении потенциала в катодном слое тлеющего разряда // Журнал технической физики. 1993. Т. 63. В. 2. С. 200-202

[18] Никифоров Д.К., Коржавый А.П., Никифоров К.Г., Бондаренко Г.Г. Поверхностная и объемная модификация эмитирующих наноструктур Al-AlN и Al-Al₂O₃ионной бомбардировке // Известия ВУЗов. Физика. 2013. Т. 56. № 1/2. С. 23-26.

[19] Патент на изобретение №1101924 Rus. Mar. 07.1983.Металлопористый катод прямого накала / Чигринец В.Д., Каменцев В.Е., Бобрецов В.В., Коржавый А.П., Файфер С.И.

[20] Научно-исследовательский институт «ПОЛЮС» им. М.Ф. Стельмаха. 50 лет. М.: Техносфера. 2012. 220 с.

Аннотация

Для цитирования

Похожие статьи