Эмиссионный спектральный анализ в технологических процессах радиоэлектроники
- 1 начальник участка, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М.Ф. Стельмаха
- 2,3 вед. науч. сотрудник, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М.Ф. Стельмаха
- 4 инженер, Московский государственный институт электроники и математики
- 5 аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
Аннотация
Представлен новый метод спектрального анализа, базирующийся на автоматизированном оборудовании мирового уровня, созданный для разработки современных технологических процессов изготовления вакуумных и газоразрядных приборов для систем радиоэлектроники создан.
Для цитирования
Сухов Е.В., Маш Л.Д., Пролейко Э.П., Бруггер В.Э., Белов Е.С. Эмиссионный спектральный анализ в технологических процессах радиоэлектроники // Наукоемкие технологии. 2012. № 10. С. 53–57.
Список источников
- Hochuli Urs., Haldemann Paul R. Method of fabricating a gas laser. Patent USA. № 386310. HOIj. 9/00/ 1975.
- Korzhavyi A.P., Kristya V.I. On the calculation of cold cathodes lifetimes for helium-neon lasers // J. Appl. Phys. 1991. V. 70. № 9. P. 5517-5518.
- Прасицкий В.В. Современные катоды для отпаянных приборов // Электронная промышленность. 1996. № 3. С. 91-92.
- Коржавый А.П.Материалы с высокой устойчивостью к распылению на основе легких металлов для холодных катодов // Наукоемкие технологии. 2001. Т. 2. № 4. С. 29-32.
- Привалов В.Е., Фридрихов С.А. Кольцевой газовый лазер // Успехи фундаментальных наук. 1969. Т. 97. Вып. 3. С. 377.
- Fein E., Salisbury W. Integrated construction of low-cost gas lasers // Applied Optics. 1977. V. 16. № 8. P. 2308-2314.
- Савельев А.М., Соловьева Т.И. Состояние лазерной гироскопии за рубежом // Зарубежная радиоэлектроника. 1981. № 8. С. 77-92.
- Дерюгина Е.О., Пролейко Э.П. Метод создания катодов для датчиков лазерных гиросокпов // Наукоемкие технологии. 2002. № 5. С. 6-18.
- Никифоров Д.К., Коржавый А.П., Никифоров К.Г. Эмиттирующие наноструктуры «Металл - оксид металла»: физика и применение: Монография / под ред. А.П. Коржавого. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2009.
- Мандельштам С.Л.Введение в спектральный анализ / под ред. Г.С. Ландсберга. М.-Л.: Гостехиздат. 1946.
- Бломберген Н.Нелинейная оптика. М.: Мир. 1966.
- Стриганов А.Р., Свентицкий Н.С. Таблицы спектральных линий нейтральных и ионизированных атомов. М.: Наука. 1966.
- Козинцев В.И., Белов М.Л., Федоров Ю.В. и др. Лазерный оптико-акустический анализ многокомпонентных газовых смесей. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2003.