ТЕХНОЛОГИЯ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ СИНТЕЗА И ИДЕНТИФИКАЦИИ НАНОСТРУКТУР

С.С. Анцыферов¹, Б.И. Голубь²

научная статья Страницы: 37-42

^1,2 докт. техн. наук, проф. МИРЭА (ТУ)

Ключевые слова: наноструктура анализ синтез погрешность идентификация

Аннотация

На основании принципов стохастической аппроксимации предложена технология управления процессами синтеза и идентификации наноструктур

Для цитирования

Анцыферов С.С., Голубь Б.И. ТЕХНОЛОГИЯ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ СИНТЕЗА И ИДЕНТИФИКАЦИИ НАНОСТРУКТУР // Наукоемкие технологии. 2009. № 6. С. 37–42.