ЛАЗЕРНЫЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПОЛОЖЕНИЯ И ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОБЪЕКТОВ
- 1 докт. техн. наук, проф., ГОУ ВПО МГТУ «Станкин»
- 2 аспирант, ГОУ ВПО МГТУ «Станкин»
Аннотация
Рассматривается принципиально новый способ реализации «оптической губки», при котором происходит фазовое или частотное преобразование смещения границы объекта. На основе рассмотренных фазовых и частотных лазерных гетеродинных измерительных систем возможно измерение положения границы с дискретностью отсчета до 0,01 мкм для объектов, движущихся со скоростями до сотен м/мин
Для цитирования
Телешевский В.И., Соколов В.А. ЛАЗЕРНЫЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПОЛОЖЕНИЯ И ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОБЪЕКТОВ // Наукоемкие технологии. 2009. № 6. С. 28–31.
Список источников
- Иванов B.A., Привалов В.Е. Применение лазеров в приборах точной механики. Изд. Политехника. С.Пб.: 1993. С. 216.
- Телешевский В. И., Абдикаримов H. H. Гетеродинный лазерный акустооптический сенсор для бесконтактного определения положения границ объектов. Тез. докл. 8-ой Всесоюзной конф., «Фотометрия и ее метрологическое обеспечение». M.: 1990. С. 242.
- Телешевский В.И., Абдикаримов H.H. Способ определения положения границы объекта. Авт. свид. № 1714359, Бюлл. изобрет. № 7. 1992.
- Teleshevky V.I. Heterodyne laser interferometry for measuring of form and position deviations in nanotechnology. 9Jnterant. Oberflachenkolloquiuon, Chemnitz. 1996. Poster. P. 35-45.