Влияние технологических факторов на формирование микрорельефа поверхности фторполимерных пленок в процессе их роста из активной газовой фазы

Лучников П.А.; Марин В.П.; Лучников А.П.

Влияние технологических факторов на формирование микрорельефа поверхности фторполимерных пленок в процессе их роста из активной газовой фазы

Лучников П.А.¹, Марин В.П.², Лучников А.П.³

научная статья

Аннотация

Представлены результаты физико-технологических исследований процесса формирования поверхностного рельефа тонких вакуумных фторполимерных пленок, осаждаемых из активной газовой фазы при различных температурных режимах синтеза и электронной обработки.

Для цитирования

Лучников П.А., Марин В.П., Лучников А.П. Влияние технологических факторов на формирование микрорельефа поверхности фторполимерных пленок в процессе их роста из активной газовой фазы // Наукоемкие технологии. 2008. № 10.