Исследование надежности автоматизированного вакуумного технологического оборудования в условиях эксплуатации
Аннотация
Представлены результаты статистического исследования надежности трех типов установок вакуумного напыления; результаты исследований позволяют выявить наименее надежные элементы оборудования и наметить пути повышения производительности последнего.
Для цитирования
Гаценко В.П., Юрков Ю.В. Исследование надежности автоматизированного вакуумного технологического оборудования в условиях эксплуатации // Наукоемкие технологии. 2007. № 4.