Физические принципы разработки ВЧ-индуктивных источников плазмы низкого давления

Александров А. Ф.; Бугров Г. Э.; Вавилин К. В.; Кралькина Е. А.; Павлов В. Б.; Плаксин В. Ю.; Рухадзе А. А.

Физические принципы разработки ВЧ-индуктивных источников плазмы низкого давления

Александров А. Ф.¹, Бугров Г. Э.², Вавилин К. В.³, Кралькина Е. А.⁴, Павлов В. Б.⁵, Плаксин В. Ю.⁶, Рухадзе А. А.⁷

научная статья

Аннотация

С помощью математического моделирования рассмотрены физические условия, при которых удается наиболее эффективно ввести мощность в плазму индуктивного ВЧ-разряда, а также получить максимальную плотность электронов; представлены характеристики работы ВЧ-индуктивных источников ионов, разработанных с учетом результатов математического моделирования.

Для цитирования

Александров А.Ф., Бугров Г.Э., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Павлов В.Б., Плаксин В.Ю., Рухадзе А.А. Физические принципы разработки ВЧ-индуктивных источников плазмы низкого давления // Наукоемкие технологии. 2005. № 1.