Структура и свойства анодных пленок Al2O3 различной функциональности
Аннотация
Обобщены результаты исследования анодных оксидных пленок на алюминии, полученных в широком диапазоне условий формирования; изучение структуры было выполнено методами рентгеновской дифракции, просвечивающей и растровой электронной микроскопии; определены параметры ближнего порядка аморфных оксидных слоев; получены данные о морфологии поверхности и поперечных сломов оксидов; проанализированы значения микропористости оксидных пленок с помощью метода малоуглового рассеяния рентгеновских лучей; изучены электрические характеристики (емкость, постоянные роста, проводимость, электрическая прочность) пленок; обсуждены особенности механизма образования оксидных слоев различной функциональности.
Для цитирования
Яковлева Н. М, Яковлев А.Н., Чупахина Е.А., Ханина Е.Я. Структура и свойства анодных пленок Al2O3 различной функциональности // Наукоемкие технологии. 2004. № 11.