Управляемый технологический процесс изготовления источников электронов
Аннотация
Приведены результаты получения и исследования оксидных пленок холодных катодов для атомарных газовых лазеров и вакуумных приборов. Показано, что на базе сплавов цветных металлов возможно контролируемое серийное изготовление долговечных оксидированных холодных катодов, если четко установить и отслеживать основные параметры производства.
Для цитирования
Вагин Л.Н., Амеличева К.В., Бычков Н.А., Звонецкий В.И., Никулина С.Н. Управляемый технологический процесс изготовления источников электронов // Наукоемкие технологии. 2003. № 2.