Резонаторы и фильтры сверхвысоких частот на объемных акустических волнах: современное состояние и тенденции развития

Дана характеристика современного состояния и перспектив развития акустоэлектронной элементной базы СВЧ-диапазона на объемных акустических волнах. Изложение основано на оригинальных результатах ИРЭ РАН в области создания СВЧ-резонаторов и фильтров, а также датчиков физических величин на основе СВЧ-резонаторов. Особое внимание уделено разработкам ИРЭ РАН в области метрики новых и перспективных для СВЧ-диапазона акустических материалов, а также тонких пьезоэлектрических и металлических пленок, предназначенных для создания перспективной элементной базы СВЧ-диапазона.