Новые возможности термокондуктометрических датчиков акустического типа

В.И. Анисимкин; Н.В. Воронова; М.А. Земляницин; И.И. Пятайкин

Новые возможности термокондуктометрических датчиков акустического типа

В.И. Анисимкин¹, Н.В. Воронова², М.А. Земляницин³, И.И. Пятайкин⁴

научная статья Страницы: 23-27

¹ д.ф.-м.н., гл. науч. сотрудник, Институт радиотехники и электроники им.В.А. Котельникова РАН
² начальник лаборатории фотошаблонов, ОАО «НИИ Элпа»
³ вед. инженер, Институт радиотехники и электроники им.В.А. Котельникова РАН Ю.В. Пучков - инженер, ОАО «НИИ Элпа»
⁴ к.ф.-м-н., ст. науч. сотрудник, Институт радиотехники и электроники им.В.А. Котельникова РАН

Ключевые слова: акустические волны пьезоэлектрические кристаллы термокондуктометрический эффект

Аннотация

Экспериментально исследованы изменения скорости поверхностных и пластинчатых акустических волн в нагретых (-100 С) пьезокристаллических звукопроводах кварца, ниобата лития и силиката висмута при одновременном и раздельном воздействии физических параметров газов и скорости ламинарных газовых потоков. Разработаны способы подавления этих изменений для нежелательных газов. Каждый способ подавления продемонстрирован на конкретном примере.

Для цитирования

Анисимкин В.И., Воронова Н.В., Земляницин М.А., Пятайкин И.И. Новые возможности термокондуктометрических датчиков акустического типа // Нелинейный мир. 2016. № 3. С. 23–27.

Список источников

Виглеб Г. Датчики. М.: Мир. 1989. 198 с.
Фрайден Дж. Современные датчики: Справочник. М.: Техносфера. 2006. 592 с.
Анисимкин В.И., Земляницин М.А., Пятайкин И.И. Экспериментальные установки для исследования акустоэлектронных датчиков в импульсном и непрерывном режимах // Нелинейный мир. 2015. Т. 13. № 4. С. 17.
Анисимкин В.И., Пятайкин И.И., Воронова Н.В., Пучков Ю.В. Температурные характеристики акустических мод в пластинах пьезоэлектрических кристаллов SiO₂, LiNbO₃, LiTaO₃, Bi₁₂GeO₂₀ и Bi₁₂SiO₂₀// Радиотехника и электроника. 2016. Т. 61. № 1. С. 83.
Крышталь Р.Г., Кундин, А.П. Медведь А.В. Устройство на поверхностных акустических волнах для чувствительных элементов датчиков температуры // Радиотехника и электроника. 2016. Т. 62 (в печати).
Anisimkin V.I., Voronova N.V., Pushkov Yu.V. General Properties of the acoustic plate modes at different temperatures // Ultrasonics. 2015. V. 62. № 9. P.46.
Anisimkin V.I., Penza V., Maksimov S.A., Vasanelli L. SAW Delay Lines for Thermal Conductivity Detection of Gases and Gas Flows // Proc. IEEEUltrason. Symp. 1995. P. 481.
Анисимкин В.И., Максимов С.А., Пенза М., Васанелли Л. Термокондуктометрическое детектирование газов и газовых потоков с помощью линий задержки на поверхностных акустических волнах // ЖТФ. 1997. Т. 67. № 5. С. 119.
AnisimkinV.I. Sensing Properties of the Anisimkin Jr. Acoustic Modes in Uncoated ST-Quartz Plates // IEEETrans. 2013. V. UFFC-60. № 10. P. 2204. С. 83-88.
Воронова Н.В., Пучков Ю.В., Анисимкин В.И. Особенности проявления термокондуктометрического эффекта при распространении акустических волн в пьезоэлектрических кристаллах // Нелинейный мир. 2016. Т. 14. № 1. С.48-50.

[1] Виглеб Г. Датчики. М.: Мир. 1989. 198 с.

[2] Фрайден Дж. Современные датчики: Справочник. М.: Техносфера. 2006. 592 с.

[3] Анисимкин В.И., Земляницин М.А., Пятайкин И.И. Экспериментальные установки для исследования акустоэлектронных датчиков в импульсном и непрерывном режимах // Нелинейный мир. 2015. Т. 13. № 4. С. 17.

[4] Анисимкин В.И., Пятайкин И.И., Воронова Н.В., Пучков Ю.В. Температурные характеристики акустических мод в пластинах пьезоэлектрических кристаллов SiO₂, LiNbO₃, LiTaO₃, Bi₁₂GeO₂₀ и Bi₁₂SiO₂₀// Радиотехника и электроника. 2016. Т. 61. № 1. С. 83.

[5] Крышталь Р.Г., Кундин, А.П. Медведь А.В. Устройство на поверхностных акустических волнах для чувствительных элементов датчиков температуры // Радиотехника и электроника. 2016. Т. 62 (в печати).

[6] Anisimkin V.I., Voronova N.V., Pushkov Yu.V. General Properties of the acoustic plate modes at different temperatures // Ultrasonics. 2015. V. 62. № 9. P.46.

[7] Anisimkin V.I., Penza V., Maksimov S.A., Vasanelli L. SAW Delay Lines for Thermal Conductivity Detection of Gases and Gas Flows // Proc. IEEEUltrason. Symp. 1995. P. 481.

[8] Анисимкин В.И., Максимов С.А., Пенза М., Васанелли Л. Термокондуктометрическое детектирование газов и газовых потоков с помощью линий задержки на поверхностных акустических волнах // ЖТФ. 1997. Т. 67. № 5. С. 119.

[9] AnisimkinV.I. Sensing Properties of the Anisimkin Jr. Acoustic Modes in Uncoated ST-Quartz Plates // IEEETrans. 2013. V. UFFC-60. № 10. P. 2204. С. 83-88.

[10] Воронова Н.В., Пучков Ю.В., Анисимкин В.И. Особенности проявления термокондуктометрического эффекта при распространении акустических волн в пьезоэлектрических кристаллах // Нелинейный мир. 2016. Т. 14. № 1. С.48-50.

Аннотация

Для цитирования

Похожие статьи