Первичный криогенный термометр на основе цепочек туннельных переходов сверхпроводник - изолятор - нормальный металл

Разработан, изготовлен и исследован криогенный микротермометр на основе цепочек туннельных переходов сверхпроводник - изолятор - нормальный металл (СИН), не нуждающийся в первоначальной калибровке. Термометр был протестирован в диапазоне температур от 0,1 до 1,1 К. Благодаря большим тепловым якорям, объемами 45 мкм3, подключенным к нормальной и сверхпроводящей частям термометра была достигнута хорошая термализация перехода. Вместе с увеличением последовательного числа термометров до 100, по сравнению с одиночным переходом, удалось повысить разрешение по температуре до 0,3 мкК/√Гц, что на 3 порядка лучше, чем у одиночного термометра.