Магнитные микроструктуры на основе пленок пермаллоя на профилированных подложках кремния

В.К. Сахаров; Ю.В. Хивинцев; Ю. А. Филимонов

Магнитные микроструктуры на основе пленок пермаллоя на профилированных подложках кремния

В.К. Сахаров¹, Ю.В. Хивинцев², Ю. А. Филимонов³

научная статья Страницы: 35-37

¹ аспирант, ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН
² к. ф.-м. н., зав. лабораторией СФИРЭ им. В. А. Котельникова РАН
³ д.ф.-м-н., директор СФИРЭ им. В. А. Котельникова РАН

Ключевые слова: анизотропное магнетосопротивление тонкие ферромагнитные плёнки профилированные подложки

Аннотация

Показано, что с помощью фотолитографии, ионного травления и магнетронного распыления были получены магнитные микроструктуры в виде плёнок пермаллоя на профилированных подложках кремния; исследованы особенности эффекта анизотропного магнетосопротивления и петель перемагничивания таких структур в зависимости от топологии (полоски, прямоугольники и квадраты) и размеров.

Для цитирования

Сахаров В.К., Хивинцев Ю.В., Филимонов Ю.А. Магнитные микроструктуры на основе пленок пермаллоя на профилированных подложках кремния // Нелинейный мир. 2011. № 1. С. 35–37.

Список источников

Baltz V., Landis S., Rodmacq B., et.al.Multilevel magnetic media in continuous and patterned films with out-of-plane magnetization // JMMM. 2005. V. 290-291. P. 1286-1289.
Briones J., Montaigne F., Lacour D., et.al. Local magnetic anisotropy induced by a nano-modulated substrate and application to two-dimentional magnetic sensors // Appl. Phys. Express. 2010. V. 3. P. 073002-1 - 073002-3.

[1] Baltz V., Landis S., Rodmacq B., et.al.Multilevel magnetic media in continuous and patterned films with out-of-plane magnetization // JMMM. 2005. V. 290-291. P. 1286-1289.

[2] Briones J., Montaigne F., Lacour D., et.al. Local magnetic anisotropy induced by a nano-modulated substrate and application to two-dimentional magnetic sensors // Appl. Phys. Express. 2010. V. 3. P. 073002-1 - 073002-3.