Математическая модель для исследования погрешностей сопротивлений резисторов интегральных схем

В.И. Крючатов

Математическая модель для исследования погрешностей сопротивлений резисторов интегральных схем

В.И. Крючатов¹

научная статья Страницы: 387

¹ к.т.н., доцент, КГТУ им. А.Н. Туполева, Гл. специалист по технологии Казанского ФГУП «ФНПЦ «Радиоэлектроника» им. В.И. Шимко

Ключевые слова: тестовая структура математическая модель резистор интегральная схема

Аннотация

Предложена тестовая резистивная структура и разработана математическая модель сопротивления тонкопленочного резистора для теоретического и экспериментального исследования производственных погрешностей конструктивно-технологических параметров резистивных элементов интегральных схем, включая переходные сопротивления контактов; показано, что модель может быть использована для оптимизации технологических процессов и автоматизации статистического контроля качества, анализа и управления групповыми технологическими процессами изготовления интегральных схем с резистивными элементами, в том числе технологических процессов формирования электрических контактов

Для цитирования

Крючатов В.И. Математическая модель для исследования погрешностей сопротивлений резисторов интегральных схем // Нелинейный мир. 2009. № 5. С. 387.

Список источников

Власов В.Е., Захаров В.П., Коробов А.И. Системы технологического обеспечения качества компонентов микроэлектронной аппаратуры. М.: Радио и связь. 1987.
Ермолаев Ю.П. Методы косвенного экспериментального определения погрешностей конструкторско-технологических параметров элементов аппаратуры при групповой технологии // Электронное приборостроение. Вып. 3. Казань, 1997.
Спирин В.Г. Математические модели сопротивления тонкопленочного резистора с размерами 50 мкм // Технология и конструирование в радиоэлектронной аппаратуре. 2004. №2.
Крючатов В.И., Насыров И.К. Расчет тонкопленочных резисторов с учетом переходного сопротивления контакта // Вестник КГТУ им. А.Н. Туполева. Казань. 1998. №1.
Ермолаев Ю.П., Эльстинг О.Г., Каримова Ф.Г., Анфимов Г.П. Конструирование и расчет контактов в интегральных схемах. Казань: КАИ. 1967.

[1] Власов В.Е., Захаров В.П., Коробов А.И. Системы технологического обеспечения качества компонентов микроэлектронной аппаратуры. М.: Радио и связь. 1987.

[2] Ермолаев Ю.П. Методы косвенного экспериментального определения погрешностей конструкторско-технологических параметров элементов аппаратуры при групповой технологии // Электронное приборостроение. Вып. 3. Казань, 1997.

[3] Спирин В.Г. Математические модели сопротивления тонкопленочного резистора с размерами 50 мкм // Технология и конструирование в радиоэлектронной аппаратуре. 2004. №2.

[4] Крючатов В.И., Насыров И.К. Расчет тонкопленочных резисторов с учетом переходного сопротивления контакта // Вестник КГТУ им. А.Н. Туполева. Казань. 1998. №1.

[5] Ермолаев Ю.П., Эльстинг О.Г., Каримова Ф.Г., Анфимов Г.П. Конструирование и расчет контактов в интегральных схемах. Казань: КАИ. 1967.