Нанесение функциональных металлических тонкопленочных покрытий на ответственные детали гироскопических приборов космического назначения

Г.Р. Сагателян; А.В. Шишлов; В.Д. Шашурин

Нанесение функциональных металлических тонкопленочных покрытий на ответственные детали гироскопических приборов космического назначения

Г.Р. Сагателян¹, А.В. Шишлов², В.Д. Шашурин³

научная статья Страницы: 32-36

¹ д.т.н., профессор, МГТУ им. Н.Э. Баумана
² начальник отделения, филиал ФГУП «ЦЭНКИ» - НИИ ПМ им. В.И. Кузнецова
³ д.т.н., профессор, зав. кафедрой, МГТУ им. Н.Э. Баумана

Ключевые слова: тонкопленочные покрытия гироскопические приборы космическое назначение напыление хрома титановое покрытие

Аннотация

Рассмотрено нанесение проводящих, резистивных и диэлектрических покрытий на детали гироскопических приборов космического назначения, а также химически стойких покрытий на промежуточные заготовки этих деталей на установках магнетронного напыления с планетарным движением подложки. Для минимизации отклонений от равнотолщинности тонкопленочных покрытий и повышения производительности соответствующей технологической операции предложена модернизация конструкции установки, позволяющая расширить возможности варьирования кинематическими и геометрическими факторами процесса магнетронного напыления. Приведены найденные экспериментально значения технологических факторов, обеспечивающие требуемые эксплуатационные характеристики функциональных покрытий на основе применения рекомендуемых режимов и условий напыления для таких материалов, как хром, никель, титан, медь, алюминий, композит TiAl.

Для цитирования

Сагателян Г.Р., Шишлов А.В., Шашурин В.Д. Нанесение функциональных металлических тонкопленочных покрытий на ответственные детали гироскопических приборов космического назначения // Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век. 2016. № 3. С. 32–36.

Список источников

Коновалов С.Ф., Пономарев Ю.А., Майоров Д.В., Подчезерцев В.П., Сидоров А.Г. Гибридные микроэлектромеханические гироскопы и акселерометры // Наука и образование: электронное научно-техническое издание. 2011. №10. http://technomag.bmstu.ru/doc/219257.html.
Сагателян Г.Р., Новоселов К.Л., Шишлов А.В., Щукин С.А. Совершенствование технологического процесса изготовления пластины маятникового акселерометра // Естественные и технические науки. 2012. № 6. С. 369-376.
Богданович В.И., Барвинок В.А., Кирилин А.Н. Тонкопленочные электронагреватели с наноструктурным резистивным слоем для терморегулирования бортовой аппаратуры космических аппаратов // Проблемы машиностроения и автоматизации. 2010. № 3. С. 111-117.
Панфилов Ю.В. Нанесение тонких пленок в вакууме // Технологии в электронной промышленности. 2007. № 3. С. 76-80.
Одиноков В.В., Павлов Г.Я. Вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических нанопленок «Магна ТМ-200-01» // Наноиндустрия. 2008. № 4. С. 10-12.
Берлин Е., Двинин С., Сейдман Л. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. М.: Техносфера. 2007.
Федотов А.В., Агабеков Ю.А., Мачкин В.П. Многофункциональные нанокомпозитные покрытия // Наноиндустрия. 2008. № 1. С. 24-26.
Агабеков Ю.В., Сутырин А.М. Несбалансированные магнетронные распылительные системы с усиленной ионизацией плазмы // Электровакуумная техника и технология (за 1997/98 гг.). М. 1999. С. 102-108.
Патент JPH03253568. Япония, МПК С23С 14/34. Carrousel type sputtering device and sputtering method / Nakajiama Koji, Yamamoto Kimisumi: UBE INDUSTRIES. 1991-11-12.
Костржицкий А.И., Карпов В.Ф., Кабанченко М.П. и др. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме. М.: Машиностроение. 1991. С. 97-104.
Одиноков С.Б. и др. Установка карусельного типа для магнетронного напыления многослойных покрытий и способ магнетронного напыления равнотолщинного нанопокрытия: заявка на изобретение 2015120001 РФ; заявл. 27.05.2015.

[1] Коновалов С.Ф., Пономарев Ю.А., Майоров Д.В., Подчезерцев В.П., Сидоров А.Г. Гибридные микроэлектромеханические гироскопы и акселерометры // Наука и образование: электронное научно-техническое издание. 2011. №10. http://technomag.bmstu.ru/doc/219257.html.

[2] Сагателян Г.Р., Новоселов К.Л., Шишлов А.В., Щукин С.А. Совершенствование технологического процесса изготовления пластины маятникового акселерометра // Естественные и технические науки. 2012. № 6. С. 369-376.

[3] Богданович В.И., Барвинок В.А., Кирилин А.Н. Тонкопленочные электронагреватели с наноструктурным резистивным слоем для терморегулирования бортовой аппаратуры космических аппаратов // Проблемы машиностроения и автоматизации. 2010. № 3. С. 111-117.

[4] Панфилов Ю.В. Нанесение тонких пленок в вакууме // Технологии в электронной промышленности. 2007. № 3. С. 76-80.

[5] Одиноков В.В., Павлов Г.Я. Вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических нанопленок «Магна ТМ-200-01» // Наноиндустрия. 2008. № 4. С. 10-12.

[6] Берлин Е., Двинин С., Сейдман Л. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. М.: Техносфера. 2007.

[7] Федотов А.В., Агабеков Ю.А., Мачкин В.П. Многофункциональные нанокомпозитные покрытия // Наноиндустрия. 2008. № 1. С. 24-26.

[8] Агабеков Ю.В., Сутырин А.М. Несбалансированные магнетронные распылительные системы с усиленной ионизацией плазмы // Электровакуумная техника и технология (за 1997/98 гг.). М. 1999. С. 102-108.

[9] Патент JPH03253568. Япония, МПК С23С 14/34. Carrousel type sputtering device and sputtering method / Nakajiama Koji, Yamamoto Kimisumi: UBE INDUSTRIES. 1991-11-12.

[10] Костржицкий А.И., Карпов В.Ф., Кабанченко М.П. и др. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме. М.: Машиностроение. 1991. С. 97-104.

[11] Одиноков С.Б. и др. Установка карусельного типа для магнетронного напыления многослойных покрытий и способ магнетронного напыления равнотолщинного нанопокрытия: заявка на изобретение 2015120001 РФ; заявл. 27.05.2015.