Матричные автоэмиссионные структуры на основе углеродных нанотрубок для плоских дисплеев
- 1 аспирант, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН, стажер-исследователь, лаборатория микро- и наноэлектроники СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- 2 к.ф.-м.н., зав. лабораторией микро- и наноэлектроники, СФ ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- 3 д.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, лаборатория микро- и наноэлектроники, СФ ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- 4 д.ф.-м.н., зам. директора по научной работе, СФ ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
- 5 начальник отдела, ОАО «НИИ «Волга»
- 6 д.т.н., советник директора, ОАО «НИИ «Волга»
Аннотация
Осуществлены процессы синтеза углеродных нанотрубок (УНТ) методом TCVD в отверстиях катодных матриц. Показано, что для создания матричной структуры из отверстий использована технология оптической фотолитографии с последующим химическим травлением тройной структуры Si/SiO2/Mo.
Для цитирования
Тарасов Е.А., Торгашов Г.В., Григорьев Ю.А., Синицын Н.И., Абаньшин Н.П., Горфинкель Б.И. Матричные автоэмиссионные структуры на основе углеродных нанотрубок для плоских дисплеев // Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век. 2013. № 1. С. 44–45.
Список источников
- Indranil Lahiri, Joyce Wong, Zilu Zhou, Wonbong Choi. Ultra-high current density carbon nanotube field emitter structure on three-dimensional micro-channeled copper // Applied Physics Letters. 2012. V. 101.№6. Р. 063110.
- Akio Kawabata, Shintaro Sato, Hiroki Shioya, Taisuke Iwai, Mizuhisa Nihei, Daiyu Kondo, Yuji Awano. Direction-Controlled Growth of Carbon Nanotubes // Japanese Journal of Applied Physics. 2008. V. 47. №4. P. 1975-1977.