Система управления наномеханическими устройствами в вакуумной камере ионного сканирующего микроскопа при помощи лазерного нагрева
- 1 стажер-исследователь, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Ключевые слова:
НЭМСэффект памяти формынанопинцетполупроводниковый инжекционный лазерсистема управления
Аннотация
Изготовлена и экспериментально изучена установка по управлению термочувствительным нанопинцетом в вакуумной камере сканирующего ионного микроскопа при помощи полупроводникового инжекционного лазера; проведен численный расчет тепловых режимов нагрева нанопицета; показано согласие теории и эксперимента.
Для цитирования
Лега П.В. Система управления наномеханическими устройствами в вакуумной камере ионного сканирующего микроскопа при помощи лазерного нагрева // Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век. 2012. № 1. С. 45–46.