Нелинейно-оптическая и электронная микроскопия сегнетоэлектрических микроструктур кристаллизованных фемтосекундным лазерным излучением

А.С. Елшин; Н.Ю. Фирсова; О.М. Жигалина; Е.Д. Мишина

Нелинейно-оптическая и электронная микроскопия сегнетоэлектрических микроструктур кристаллизованных фемтосекундным лазерным излучением

А.С. Елшин¹, Н.Ю. Фирсова², О.М. Жигалина³, Е.Д. Мишина⁴

научная статья Страницы: 14-17

^1,2 стажер-исследователь, Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики
³ стажер-исследователь, Институт кристаллографии РАН им. А.В. Шубникова
⁴ д.ф.-м.н., профессор, Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики

Ключевые слова: in-situ неразрушающая диагностика лазерный отжиг сегнетоэлектрические тонкие пленки цирконат-титанат свинца генерация второй гармоники взрывная кристаллизация

Аннотация

Рассмотрены особенности кристаллизации сегнетоэлектрических микроструктур в пленке цирконата-титаната свинца фемтосекундным лазерным излучением ближнего ИК диапазона. Методом генерации второй гармоники (ГВГ) in-situ исследована кинетика кристаллизации, установлено наличие двух ее типов: высокотемпературной, сверхбыстрой (взрывной), возникающей во время облучения и низкотемпературной, медленной (самоподдерживающейся) кристаллизации, возникающей после прекращения облучения многослойной структуры. Показано, что разрезы микроструктур были исследованы просвечивающей электронной микроскопией.

Для цитирования

Елшин А.С., Фирсова Н.Ю., Жигалина О.М., Мишина Е.Д. Нелинейно-оптическая и электронная микроскопия сегнетоэлектрических микроструктур кристаллизованных фемтосекундным лазерным излучением // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. 2014. № 4. С. 14–17.

Список источников

Воротилов К.А., Сигов А.С., Романов А.А., Машевич П.Р. Формирование сегнетоэлектрических наноструктур для нового поколения устройств микро- и наноэлектроники // Наноматериалы и наноструктуры. 2010. № 1. С. 45-53.
Shen Y., Cao G.Z., Chia-Che Wu, Cheng-Chun Lee. PZT Thin-Film Meso- and Micro Devices // Ferroelectrics. 2006. V. 342. P. 15-34.
Ai-Dong Li, Di Wu, Hui-Qin Ling, Mu Wang, et al. Different growth behavior of SrBi₂Ta₂O₉ ferroelectric films under conventional and rapid annealing processing by metalorganic decomposition. // Journal of Crystal Growth. 2002. V. 235. P. 394-400.
Хмеленин Д.Н., Жигалина О.М., Воротилов К.А., Лебо И.Г. Кристаллизация пленок цирконата-титаната свинца с помощью лазерного отжига. // ФТТ. 2012. Т. 54. Вып. 5. С. 939-941.
Пронин И.П., Каптелов Е.Ю., Сенкевич С.В. и др. Особенности кристаллизации поликристаллических тонких пленок PZT, сформированных на подложке Si/SiO₂/Pt // ФТТ. 2010. Т. 52. Вып. 1. С. 124-128.
Firsova N.Yu., Mishina E.D., Sigov A.S.,et al. Femtosecond infrared laser annealing of pzt films on a metal substrate // Ferroelectics. 2012. V. 433. Is. 1. P. 164-169.
Фирсова Н.Ю., Елшин А.С., Марченкова М.А. и др.Переключаемость перовскитных микрообластей пленок ЦТС, локально отожженных фемтосекундным лазером инфракрасного диапазона // Нано- и микросистемная техника. 2014 Т. 7. С. 43-46.
Елшин А.С., Фирсова Н.Ю., Марченкова М.А. и др. Нелинейно-оптическая диагностика процесса локальной кристаллизации пленок цирконата-титаната свинца фемтосекундным лазерным излучением // ПЖТФ. 2014. (в печати).

[1] Воротилов К.А., Сигов А.С., Романов А.А., Машевич П.Р. Формирование сегнетоэлектрических наноструктур для нового поколения устройств микро- и наноэлектроники // Наноматериалы и наноструктуры. 2010. № 1. С. 45-53.

[2] Shen Y., Cao G.Z., Chia-Che Wu, Cheng-Chun Lee. PZT Thin-Film Meso- and Micro Devices // Ferroelectrics. 2006. V. 342. P. 15-34.

[3] Ai-Dong Li, Di Wu, Hui-Qin Ling, Mu Wang, et al. Different growth behavior of SrBi₂Ta₂O₉ ferroelectric films under conventional and rapid annealing processing by metalorganic decomposition. // Journal of Crystal Growth. 2002. V. 235. P. 394-400.

[4] Хмеленин Д.Н., Жигалина О.М., Воротилов К.А., Лебо И.Г. Кристаллизация пленок цирконата-титаната свинца с помощью лазерного отжига. // ФТТ. 2012. Т. 54. Вып. 5. С. 939-941.

[5] Пронин И.П., Каптелов Е.Ю., Сенкевич С.В. и др. Особенности кристаллизации поликристаллических тонких пленок PZT, сформированных на подложке Si/SiO₂/Pt // ФТТ. 2010. Т. 52. Вып. 1. С. 124-128.

[6] Firsova N.Yu., Mishina E.D., Sigov A.S.,et al. Femtosecond infrared laser annealing of pzt films on a metal substrate // Ferroelectics. 2012. V. 433. Is. 1. P. 164-169.

[7] Фирсова Н.Ю., Елшин А.С., Марченкова М.А. и др.Переключаемость перовскитных микрообластей пленок ЦТС, локально отожженных фемтосекундным лазером инфракрасного диапазона // Нано- и микросистемная техника. 2014 Т. 7. С. 43-46.

[8] Елшин А.С., Фирсова Н.Ю., Марченкова М.А. и др. Нелинейно-оптическая диагностика процесса локальной кристаллизации пленок цирконата-титаната свинца фемтосекундным лазерным излучением // ПЖТФ. 2014. (в печати).

Аннотация

Для цитирования

Похожие статьи