Молекулярная структура и морфология вакуумных кремнийорганических покрытий, полученных плазмохимическим синтезом
- 1 к.т.н., ст. науч. сотрудник, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины, Беларусь
- 2 к.т.н., ст. науч. сотрудник, Белорусский государственный университет транспорта, г. Гомель, Беларусь
- 3 зав. лабораторией, НИИ «Информатика» при МГТУ МИРЭА
- 4 чл.-корр. НАНБ, д.х.н., профессор, ректор, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины, Беларусь
- 5 аспирант, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины, Беларусь
Аннотация
Исследована кинетика электронно-лучевого диспергирования кремнийорганических соединений и молекулярная структура вакуумных покрытий, осажденных из активной газовой фазы толщиной 20-500 нм. Показано, что формирование пленочных покрытий обусловлено процессами химического взаимодействия, протекающими в зоне действия потока ускоренных электронов на распыляемую мишень. Ключевые слова: кремнийорганическое соединение, электронно-лучевое диспергирование, морфология, молекулярная структура, композиционное покрытие
Для цитирования
Ярмоленко М.А., Рогачев А.А., Лучников П.А., Рогачев А.В., Горбачев Д.Л. Молекулярная структура и морфология вакуумных кремнийорганических покрытий, полученных плазмохимическим синтезом // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. 2011. № 4. С. 34–43.
Список источников
- Камарицкий Б.А. Физико-химические основы синтеза олиго и полиорганосилсесквиоксанов // Дисс. - докт. хим. наук. М.: ИХФ АН СССР. 1989.
- Тоньшин А.М., Камарицкий Б.А., Спектор В.Н. Технология, строение и свойства кремнийорганических диэлектриков - полиорганосилсесквиоксанов // Успехи химии. 1983. Т. 52. С. 1365-1409.
- Аверичкин П.А., Камарицкий Б.А., Лучников А.П., Спектор В.Н., Шарафиев Р.С. Пассивация поверхности приборов твердотельной электроники кремнийорганическими соединениями // Техника средств связи. Серия ЛОСС. 1990. № 2. С. 2-8.
- Доценко Е.М., Лучников А.П., Лучников А.П., Пахомов Л.Г. Повышение защитных свойств силоксановых покрытий предварительной очисткой олигомеров. // Материалы Междунар. научно-технич школы-конф. «Молодые ученые-2005» (2630 сентября 2005 г., Москва). М.: МИРЭА. 2005. Ч. 1. С. 282-296.
- Ткачук Б.В., Колотыркин В.М. Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы. М.: Химия. 1977.
- Казаченко В.П. Кинетика электронно-лучевого диспергирования полимеров в вакууме, структура, свойства покрытий, полученных осаждением летучих продуктов // Автореф. дис. - канд. физ.-мат. наук. М.: НИФХИ. 1992.
- Егоров А.И. Физико-химические закономерности процессов массопереноса при плазмохимическом окрашивании и аппретировании полиэтилентерефталата // Автореф. дис. - канд. техн. наук. Гомель: ИММС НАНБ. 1999.
- Казаченко В.П. Кинетика электронно-лучевого диспергирования полимеров в вакууме, структура, свойства покрытий, полученных осаждением летучих продуктов // Автореф. дис. - канд. физ.-мат. наук. М.: НИФХИ. 1992.
- Казаченко В.П., Рогачев А.В. Закономерности диспергирования политетрафторэтилена потоком электронов средних энергий // Химия высоких энергий. 1999. Т. 33. № 4. С. 270-273.
- Беллами Л. Инфракрасные спектры сложных молекул. М.: Мир. 1963.
- Казицына Л.А., Куплетская Н.Б. Применение УФ-, ИК- и ЯМР-спектроскопии в органической химии. Учеб. пособие для вузов. М.: Высшая школа. 1971.
- Кнунянц И.Л. и др. Химическая энциклопедия. В в 5 томах. Т. 2: Даффа-Меди / под ред. И.Л. Кнунянц и др. М.: Сов. энцикл. 1990.