Микромеханический вибрационный гироскоп-акселерометр на основе эффекта автоэлектронной эмиссии

В. М. Ачильдиев; М. А. Басараб; Ю. К. Грузевич; Б. С. Лунин; В. А. Матвеев; В. А. Солдатенков

Микромеханический вибрационный гироскоп-акселерометр на основе эффекта автоэлектронной эмиссии

В. М. Ачильдиев¹, М. А. Басараб², Ю. К. Грузевич³, Б. С. Лунин⁴, В. А. Матвеев⁵, В. А. Солдатенков⁶

научная статья Страницы: 9-15

¹ к. т. н., ген. конструктор ОАО НПО Геофизика-НВ
² д. ф.-м. н., проф. кафедры «Теоретическая информатика и компьютерные технологии» МГТУ им. Н. Э. Баумана
³ к. т. н., доцент, зам. ген. директора по науке ОАО НПО Геофизика-НВ
⁴ д. т. н., вед. научн. сотр. кафедры физической химии Химического факультета МГУ им. М. В. Ломоносова
⁵ д. т. н., профессор, руководитель научно-учебного комплекса «Информатика и системы управления» МГТУ им. Н. Э. Баумана, лауреат Государственной премии РФ
⁶ д. т. н., проф., ген. директор ОАО НПО Геофизика-НВ

Ключевые слова: вибрационный гироскоп акселерометр автоэлектронная эмиссия

Аннотация

Рассмотрена конструкция и математическая модель меха-тронного микромеханического гироскопа-акселерометра (ММГА) с автоэлектронной эмиссией, изготавливаемого по тонкопленочной технологии «металл-сапфир».

Для цитирования

Ачильдиев В.М., Басараб М.А., Грузевич Ю.К., Лунин Б.С., Матвеев В.А., Солдатенков В.А. Микромеханический вибрационный гироскоп-акселерометр на основе эффекта автоэлектронной эмиссии // Информационно-измерительные и управляющие системы. 2010. № 8. С. 9–15.

Список источников

Броудай Н., Лирей Дж. Физические основы микротехнологий. М.: Мир. 1985.
Добрецов А. Н., Томоюнова М. В. Эмиссионная электроника. М.: Наука. 1966.
Исаев В. А. Соколов Д. В., Трубецков Д. И. Лекции по СВЧ электронным приборам с модуляцией эмиссии. Восьмая зимняя школа-семинар инженеров. Кн. 2. 1989. С. 3-36.
Патент РФ № 2058535 (1996). Микромеханический вибрационный гироскоп-акселерометр / Ачильдиев В. М., Дрофа В. Н. Гладилович В. П., Мезенцев А. П., Сергиенко М. П.
Патент РФ № 2058534 (1996). Инерциальный измерительный блок / Ачильдиев В. М., Дрофа В. Н., Гладилович В. П., Мезенцев А. П., Сергиенко М. П.
Ачильдиев В. М. Бесплатформенные инерциальные блоки на основе микромеханических датчиков угловой скорости и линейного ускорения. М.: Изд-во госуд. ун-та леса. 2007.
ADRS 300 Single Chip Jaw Rate with Conditioning. Technical Data. AnalogDevice. 2002.
Лестев А. М., Попова И. В.Современное состояние теории и практических результатов разработки микромеханических гироскопов // Гироскопия и навигация. 1998. № 1.
Пешехонов В. Г. Гироскопы начала XXI века // Гироскопия и навигация. 2003. № 4. С. 5-18.

[1] Броудай Н., Лирей Дж. Физические основы микротехнологий. М.: Мир. 1985.

[2] Добрецов А. Н., Томоюнова М. В. Эмиссионная электроника. М.: Наука. 1966.

[3] Исаев В. А. Соколов Д. В., Трубецков Д. И. Лекции по СВЧ электронным приборам с модуляцией эмиссии. Восьмая зимняя школа-семинар инженеров. Кн. 2. 1989. С. 3-36.

[4] Патент РФ № 2058535 (1996). Микромеханический вибрационный гироскоп-акселерометр / Ачильдиев В. М., Дрофа В. Н. Гладилович В. П., Мезенцев А. П., Сергиенко М. П.

[5] Патент РФ № 2058534 (1996). Инерциальный измерительный блок / Ачильдиев В. М., Дрофа В. Н., Гладилович В. П., Мезенцев А. П., Сергиенко М. П.

[6] Ачильдиев В. М. Бесплатформенные инерциальные блоки на основе микромеханических датчиков угловой скорости и линейного ускорения. М.: Изд-во госуд. ун-та леса. 2007.

[7] ADRS 300 Single Chip Jaw Rate with Conditioning. Technical Data. AnalogDevice. 2002.

[8] Лестев А. М., Попова И. В.Современное состояние теории и практических результатов разработки микромеханических гироскопов // Гироскопия и навигация. 1998. № 1.

[9] Пешехонов В. Г. Гироскопы начала XXI века // Гироскопия и навигация. 2003. № 4. С. 5-18.

Аннотация

Для цитирования

Похожие статьи