Методика измерения параметров тонких полупроводниковых пленок на подложках из высокоомного полупроводника с помощью миллиметровых волн
Аннотация
Описана новая методика неразрушающего измерения комплексного коэффициента преломления тонких полупроводниковых пленок на подложках из высокооомных полупроводников с помощью миллиметровых волн.
Для цитирования
Любченко В.Е., Мериакри В.В., Чигряй Е.Е. Методика измерения параметров тонких полупроводниковых пленок на подложках из высокоомного полупроводника с помощью миллиметровых волн // Электромагнитные волны и электронные системы. 2006. № 1.