Фотолитография без маски и расчет изображений, даваемых пространственным модулятором света на memos-структуре

Белокопытов Г.В., Рыжикова Ю.В. Фотолитография без маски и расчет изображений, даваемых пространственным модулятором света на memos-структуре // Динамика сложных систем - XXI век. 2008. № 2.