Тонкопленочные СВЧ-конденсаторы для гибридных сборок
- 1 д.т.н., зам. гл. технолога по микроэлектронике, АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)
- 2,3,4,5 инженер-технолог, АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)
- 6 гл. технолог, АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)
Аннотация
Постановка проблемы. Конденсаторы являются одними из наиболее востребованных компонентов в электронных схемах. Для гибридных схем, работающих в СВЧ-диапазоне, важно обеспечить малый габарит элемента, высокую удельную емкость, резонансную частоту и напряжение пробоя. Также требуется высокая добротность (низкий тангенс угла потерь), улучшенная температурная стабильность и минимизация отклонений от номинального значения емкости.
Цель. Рассмотреть создание дискретного тонкопленочного конденсатора функционального аналога элементов на титанате бария.
Результаты. Представлена конструкция и технология изготовления дискретных тонкопленочных конденсаторов, изготов ленных с использованием технологий атомно-слоевого осаждения оксида алюминия (Al2O3). Исследована деградация тонкоп леночного диэлектрика различных толщин при длительной эксплуатации. Приведено сравнение изготовленных тонкопленоч ных конденсаторов с керамическими по нескольким ключевым параметрам.
Практическая значимость. Конструкция и технология тонкопленочных конденсаторов позволяет существенно расширить температурный и частотный диапазоны работы элементов, что позволит заменить аналогичные решения на основе керамик в гибридных схемах.
Для цитирования
Барон Ф.А., Коновалов С.О., Зеленов Ф.В., Масюгин А.Н., Иванов А.Б., Стреж А.В. Тонкопленочные СВЧ-конденсаторы для гибридных сборок // Успехи современной радиоэлектроники. 2019. № 12. С. 76–83. DOI: https://doi.org/10.18127/j20700784-201912-12
Список источников
- Масюгин A.Н., Зеленов Ф.В., Иванов A.Б., Коновалов С.O., Тютюнник M.O., Барон Ф.A. Молодежь. Общество. Современная наука, техника и инновации. 2017. № 16. С. 345–347.