Потери кинетической энергии в МЕМС резонаторах

А.Р. Бестугин; Л.В. Белова

Потери кинетической энергии в МЕМС резонаторах

научная статья УДК 681.2.08 Страницы: 116-120

¹ д.т.н., профессор, директор Института радиотехники, электроники и связи, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения
² аспирант, Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения; инженер-конструктор АО «ВНИИРА» (г. Санкт-Петербург)

Ключевые слова: микромеханический резонатор кинетическая энергия добротность резонатора воздушное затухание акустические потери якоря термоупругое демпфирование и внутреннее трение

Аннотация

Исследованы основные механизмы потери энергии: воздушное затухание, акустические потери якоря, термоупругое демпфирование и внутреннее трение. Для каждого источника потери энергии на примере балочного резонатора, с заданными
геометрическими параметрами, построены зависимости от нескольких параметров и рассмотрены методы определения численных значений. Приведены рекомендации по выбору параметров резонатора при проектировании электронных устройств.

Для цитирования

Бестугин А.Р., Белова Л.В. Потери кинетической энергии в МЕМС резонаторах // Успехи современной радиоэлектроники. 2017. № 12. С. 116–120.

Список источников

Бестугин А.Р., Белова Л.В. Эквивалентная электромеханическая модель дискового резонатора // Успехи современной
радиоэлектронники. 2016. № 11. С. 253–259.
Емельянов А.В., Емельянов И.А., Зенкина И.А. Уравнение Рейнольдса для тонкого слоя вязкой среды // Иновационная наука. 2016. № 11–3.
Jay Brotz Damping in CMOS-MEMS Restorans. Carnegie Mellon University. 2004.
Шахнович И. МЭМС–гироскопы – единство выбора // Электронника. Наука. Технология. Бизнес. 2007. № 1. С. 76–95.
Второшин С.Е., Нестеренко Т.Г. Модальный анализ деформации микроструктур резонанского микроэлектронного акселерометра //Фундаментальные исследования 2015. № 2. С. 2553–2557.
Материалы в приборостроении и автоматике: Справочник / Под ред. Ю.М. Пятина. М.: Машиностроение. 1982.
Mahesh Angira, Sundaram G.M., Kamaljit Rangra A Novel Approach for Low Insertion Loss, Multi-band, Capacitive Shunt RF–MEMS Switch // Wireless Personal Communications. 2015. V. 83. № 3. P. 2289–2301.

[1] Бестугин А.Р., Белова Л.В. Эквивалентная электромеханическая модель дискового резонатора // Успехи современной
радиоэлектронники. 2016. № 11. С. 253–259.

[2] Емельянов А.В., Емельянов И.А., Зенкина И.А. Уравнение Рейнольдса для тонкого слоя вязкой среды // Иновационная наука. 2016. № 11–3.

[3] Jay Brotz Damping in CMOS-MEMS Restorans. Carnegie Mellon University. 2004.

[4] Шахнович И. МЭМС–гироскопы – единство выбора // Электронника. Наука. Технология. Бизнес. 2007. № 1. С. 76–95.

[5] Второшин С.Е., Нестеренко Т.Г. Модальный анализ деформации микроструктур резонанского микроэлектронного акселерометра //Фундаментальные исследования 2015. № 2. С. 2553–2557.

[6] Материалы в приборостроении и автоматике: Справочник / Под ред. Ю.М. Пятина. М.: Машиностроение. 1982.

[7] Mahesh Angira, Sundaram G.M., Kamaljit Rangra A Novel Approach for Low Insertion Loss, Multi-band, Capacitive Shunt RF–MEMS Switch // Wireless Personal Communications. 2015. V. 83. № 3. P. 2289–2301.