Технологическое обеспечение операции параметрической коррекции микромеханических зеркал для систем оптической связи
- 1 д.т.н., профессор, директор, Институт радиотехники, электроники и связи, ФГАОУ ВО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения (ГУАП)
- 2,4 к.т.н., доцент, ФГАОУ ВО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения (ГУАП)
- 3 к.э.н., доцент, ФГАОУ ВО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения (ГУАП)
- 5,6 аспирант, ФГАОУ ВО Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения (ГУАП)
Ключевые слова:
микромеханический зеркалооптический модуляторсистемы оптической связистатическая неуравно-вешенностьквазистационарное испарение
Аннотация
Приведены результаты теоретических исследований технологий удаления неуравновешенных масс с поверхности микрозеркал, входящих в состав оптических модуляторов систем оптической связи. Проведен сравнительный анализ лазерной и ионно-лучевой технологий экстрагирования сверхмалых масс вещества. Показано, что обе технологии могут применяться в одном технологическом процессе, позволяя добиться оптимальных, с точки зрения функционирования светомодулятора, результатов.
Для цитирования
Бестугин А.Р., Филонов О.М., Киршина И.А., Овчинникова Н.А., Окин П.А., Андреева Е.В. Технологическое обеспечение операции параметрической коррекции микромеханических зеркал для систем оптической связи // Успехи современной радиоэлектроники. 2016. № 11. С. 228–232.
Список источников
- Бестугин А.Р., Филонов О.М., Киршина И.А., Окин П.А., Андреева Е.В. Параметрическая коррекция микромеханических зеркал систем оптической связи // Успехи современной радиоэлектроники. 2015. № 10. С. 183-187.
- Стельмах М.Ф. Лазеры в технологии. М.: Энергия. 1985.
- Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. Пер. с англ. М.: Мир. 1985.