Параметрическая коррекция микромеханических зеркал систем оптической связи
- 1 д.т.н., профессор, декан, факультет «Радиотехника, электроника и связь», ФГАОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения»
- 2 к.т.н., доцент, кафедра «Конструирование и технологии электронных и лазерных средств», ФГАОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения»
- 3 к.э.н., доцент, кафедра «Конструирование и технологии электронных и лазерных средств», ФГАОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения»
- 4 аспирант, ФГАОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения»
- 5 магистр, ФГАОУ ВПО «Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения»
Ключевые слова:
микромеханическое зеркалосветомодулятороптическая связьстатическая неуравновешенностьмомент силы инерцииторсионыионно-лучевое распыление
Аннотация
Рассмотрена структура алгоритма проведения операции параметрической коррекции (статического уравновешивания) микро-зеркал с торсионными подвесами для систем оптической связи. Исследована процедура нахождения области локализации неуравновешенной массы в объеме зеркала, методика расчета ее величины и технологическое обеспечение процесса ее экстрагирования сфокусированным ионным пучком.
Для цитирования
Бестугин А.Р., Филонов О.М., Киршина И.А., Окин П.А., Андреева Е.В. Параметрическая коррекция микромеханических зеркал систем оптической связи // Успехи современной радиоэлектроники. 2015. № 10. С. 183–187.
Список источников
- Бестугин А.Р., Киршина И.А., Филонов О.М. Микро- и наноэлектромеханические резонаторы - функциональные компонен- ты перспективных систем обработки и передачи сигналов // Успехи современной радиоэлектроники. Радиотехника. 2014. № 12. С.42-44.
- Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии / Пер. с англ. М.: Мир.1985.