Формирование прецизионных тонкопленочных резисторов с низким и высоким значениями поверхностного сопротивления

И. А. Корж

Формирование прецизионных тонкопленочных резисторов с низким и высоким значениями поверхностного сопротивления

И. А. Корж¹

научная статья Страницы: 51-53

¹ к. т. н., нач. сектора ФГУП «Омский НИИ приборостроения»

Ключевые слова: пленки тантала поверхностное сопротивление пленки иттрия пленочные резисторы

Аннотация

Описана технология формирования тонкопленочных резисторов с низким и высоким значениями поверхностного со-противления из одного резистивного материала - тантала. Приведены примеры использования данной технологии.

Для цитирования

Корж И.А. Формирование прецизионных тонкопленочных резисторов с низким и высоким значениями поверхностного сопротивления // Успехи современной радиоэлектроники. 2011. № 7. С. 51–53.

Список источников

Степаненко И.П. Основы микроэлектроники. М.: Сов. радио. 1980.
ThinSolidFilms. 1986. V. 143. № 1. P. 91-95.
Корж И.А., Катунский Е.А.Прецизионные тонкопленочные резисторы // Техника радиосвязи. Омск: 2010. Вып. 15. С. 107-110.

[1] Степаненко И.П. Основы микроэлектроники. М.: Сов. радио. 1980.

[2] ThinSolidFilms. 1986. V. 143. № 1. P. 91-95.

[3] Корж И.А., Катунский Е.А.Прецизионные тонкопленочные резисторы // Техника радиосвязи. Омск: 2010. Вып. 15. С. 107-110.