Достижения современной микроакустики: техника ПАВ и ОАВ в РЭА. Влияние МЭМС-технологий на РЭА

С. А. Доберштейн; И. В. Гончаров

Достижения современной микроакустики: техника ПАВ и ОАВ в РЭА. Влияние МЭМС-технологий на РЭА

С. А. Доберштейн¹, И. В. Гончаров²

научная статья Страницы: 71-78

¹ к.т.н., вед. науч. сотрудник, ОАО «Омский научно-исследовательский институт приборостроения»
² инженер, ОАО «Омский научно-исследовательский институт приборостроения»

Ключевые слова: микроакустика ПАВ-техника ОАВ-техника МЭМС-технология

Аннотация

Представлены достижения современной микроакустики: техники поверхностных акустических волн (ПАВ) и объемных акустических волн (ОАВ) в различной радиоэлектронной аппаратуре (РЭА). Показано влияние новейших технологий - микроэлектромеханических систем (МЭМС) на РЭА и возможное использование МЭМС-компонентов вместо широко применяемых компонентов на ПАВ и ОАВ.

Для цитирования

Доберштейн С.А., Гончаров И.В. Достижения современной микроакустики: техника ПАВ и ОАВ в РЭА. Влияние МЭМС-технологий на РЭА // Успехи современной радиоэлектроники. 2011. № 11. С. 71–78.

Список источников

Речицкий В.И. Акустоэлектронные радиокомпоненты. Схемы, топология, конструкции. М.: Радио и связь. 1987.
Морган Д.Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах. М: Радиоисвязь. 1990.
Aigner R. SAW and BAW Technologies for RF Filter Applications: A Review of the Relative Strengths and Weaknesses //Proc. IEEE Ultrasonics Symposium. 2008. P. 582-589.
Meier H., Baier T., Riha G. Miniaturization and advanced functionalities of SAW devices // Proc. IEEE Ultrasonics Symposium. 2000. P. 395-401.
Inoue S., Tsutsumi J., IwamotoY., et al. 1.9 GHz Range Ultra-Low-Loss and Steep Cut-Off Double Mode SAW Filter for the Rx Band in the PCS Antenna Duplexer // Proc. IEEE Ultrasonics Symposium.2003. P. 389-392.
Доберштейн С.А. Балансные ПАВ-фильтры с малыми потерями и преобразованием импедансов // Успехи современной радиоэлектроники. 2010. № 12. С. 18-28.
Балышева О.Л. Фильтры на поверхностных акустических волнах: возможности миниатюризации и функциональной интеграции // Радиотехника и электроника. 2009. Т. 54. № 12. С. 1513-1523.
Small M.K., Jamneala T., Callaghan L.A., et al. A De-Coupled Stacked Bulk Acoustic Resonator (DSBAR) Filter With 2 dB Bandwidth > 4% // Proc. IEEE Ultrasonics Symposium. 2007. P. 604-607.
Lam C.S. A Review of Recent Development of MEMS and Crystal Oscillators and Their Impacts on the Frequency Control Products Industry // Proc. IEEE Ultrasonics Symposium. 2008. P. 694-704.
Oita T. RF MEMS: Focusing on the Next Step // Proc. IEEE Ultrasonics Symposium. 2009. P. 1173-1178.
Doberstein S. Switchable Low-Loss SAW Filter Banks with MEMS Switches. // Proc. IEEE Ultrasonics Symposium. 2010. P. 1294−1297/

[1] Речицкий В.И. Акустоэлектронные радиокомпоненты. Схемы, топология, конструкции. М.: Радио и связь. 1987.

[2] Морган Д.Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах. М: Радиоисвязь. 1990.

[3] Aigner R. SAW and BAW Technologies for RF Filter Applications: A Review of the Relative Strengths and Weaknesses //Proc. IEEE Ultrasonics Symposium. 2008. P. 582-589.

[4] Meier H., Baier T., Riha G. Miniaturization and advanced functionalities of SAW devices // Proc. IEEE Ultrasonics Symposium. 2000. P. 395-401.

[5] Inoue S., Tsutsumi J., IwamotoY., et al. 1.9 GHz Range Ultra-Low-Loss and Steep Cut-Off Double Mode SAW Filter for the Rx Band in the PCS Antenna Duplexer // Proc. IEEE Ultrasonics Symposium.2003. P. 389-392.

[6] Доберштейн С.А. Балансные ПАВ-фильтры с малыми потерями и преобразованием импедансов // Успехи современной радиоэлектроники. 2010. № 12. С. 18-28.

[7] Балышева О.Л. Фильтры на поверхностных акустических волнах: возможности миниатюризации и функциональной интеграции // Радиотехника и электроника. 2009. Т. 54. № 12. С. 1513-1523.

[8] Small M.K., Jamneala T., Callaghan L.A., et al. A De-Coupled Stacked Bulk Acoustic Resonator (DSBAR) Filter With 2 dB Bandwidth > 4% // Proc. IEEE Ultrasonics Symposium. 2007. P. 604-607.

[9] Lam C.S. A Review of Recent Development of MEMS and Crystal Oscillators and Their Impacts on the Frequency Control Products Industry // Proc. IEEE Ultrasonics Symposium. 2008. P. 694-704.

[10] Oita T. RF MEMS: Focusing on the Next Step // Proc. IEEE Ultrasonics Symposium. 2009. P. 1173-1178.

[11] Doberstein S. Switchable Low-Loss SAW Filter Banks with MEMS Switches. // Proc. IEEE Ultrasonics Symposium. 2010. P. 1294−1297/