Управление спектральной чувствительностью и разрешающей способностью кремниевых многоэлементных фотоприемников

Ю. И. Тишин; И. В. Ванюшин; В. А. Гергель; В. А. Зимогляд

Управление спектральной чувствительностью и разрешающей способностью кремниевых многоэлементных фотоприемников

Ю. И. Тишин¹, И. В. Ванюшин², В. А. Гергель³, В. А. Зимогляд⁴

научная статья Страницы: 39-46

^1,2 МФТИ, ООО НПК «Сенсорис»
³ МФТИ, ООО НПК «Сенсорис», ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
⁴ ООО НПК «Сенсорис», ФГУП НИИ физических проблем им. Ф.В. Лукина

Ключевые слова: спектральная чувствительность разрешающая способность кремниевые многоэлементные фотоприемники энергетические барьеры

Аннотация

Рассмотрены способы управления основными параметрами цветных многоэлементных фотоприемников с расположенными внутри кремниевой подложки встроенными энергетическими барьерами, предложенными в компании ООО Юник Ай Сиз и развиваемыми в настоящее время в компании ООО НПК Сенсорис. Показана возможность управления спектральной чувствительностью с помощью изменения глубины и высоты энергетических барьеров. Коррекция разрешающей способности вблизи длинноволновой границы чувствительности осуществляется методом обработки, основанным на физических свойствах цветных фотоприемников, в частности, на свойствах базиса цветных фильтров, обеспечивающих необходимые колориметрические кривые сложения цветов.

Для цитирования

Тишин Ю.И., Ванюшин И.В., Гергель В.А., Зимогляд В.А. Управление спектральной чувствительностью и разрешающей способностью кремниевых многоэлементных фотоприемников // Успехи современной радиоэлектроники. 2010. № 6. С. 39–46.

Список источников

Fossum E.R. Activ pixel sensor - are CCD-s dinosaurs - // Proc. SPIE. Feb. 1993. V. 1900. P. 2-14.
Хайновский В.И., Уздовский В.В., Минаев В.В., Сондаевский Р.В. Многоканальные спектрозональные приборы с зарядовой связью // Тезисы докл. 4-й Междунар. научн.-техн. конф. «Электроника и информатика-2002». М.: МИЭТ, 2002. Ч. 1. С. 65.
Richard Billings Merrill. Pat. Color separation in an active pixel cell imaging array using triple well structure// Пат. № 5965875 USA, Int. Cl G 01J 3/50.
ТишинЮ.И., ГергельВ.А., ЗимоглядВ.А., ВанюшинИ.В., ЛепендинА.В.. Фотоприемнаяячейка// Пат. № 2290722 Россия, МПК H01L 31/06.
ТишинЮ.И., ГергельВ.А., ЗимоглядВ.А., ВанюшинИ.В., ЛепендинА.В.. Фотоприемнаяячейка// Пат. № 2291518 Россия, МПК H01L 31/06.
Тишин Ю.И., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Ванюшин И.В., Лепендин А.В.. Фотоприемнаяячейкас разделением цветов// Пат. № 2297074 Россия, МПК H01L 27/146.
Dierickx B., Meynants G., Scheffer D. Near 100% fill factor CMOS active pixels// Proceedings of IEEE CCD & AIS workshop, Brugge, Belgium. 5-7 June 1997. P. P1.
Ванюшин И.В., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Лепендин А.В., Тишин Ю.И. Фотоячейка с разделением цветов// Пат. № 2309483 Россия. МПК H01L 031/06.
Ванюшин И.В., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Лепендин А.В., Тишин Ю.И. Односекционная фотоячейка с разделением цветов// Пат. № 2309485 Россия, МПК H01L 031/06.
USA Patent № 5,965,875. October 1999.
Ванюшин И.В., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Тишин Ю.И. Коррекция спектральной чувствительности кремниевых фотодиодов имплантацией дополнительной примеси в подложку// Микроэлектроника. 2005. Т. 34, № 3. С. 155-159.
Зи. С. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1984.

[1] Fossum E.R. Activ pixel sensor - are CCD-s dinosaurs - // Proc. SPIE. Feb. 1993. V. 1900. P. 2-14.

[2] Хайновский В.И., Уздовский В.В., Минаев В.В., Сондаевский Р.В. Многоканальные спектрозональные приборы с зарядовой связью // Тезисы докл. 4-й Междунар. научн.-техн. конф. «Электроника и информатика-2002». М.: МИЭТ, 2002. Ч. 1. С. 65.

[3] Richard Billings Merrill. Pat. Color separation in an active pixel cell imaging array using triple well structure// Пат. № 5965875 USA, Int. Cl G 01J 3/50.

[4] ТишинЮ.И., ГергельВ.А., ЗимоглядВ.А., ВанюшинИ.В., ЛепендинА.В.. Фотоприемнаяячейка// Пат. № 2290722 Россия, МПК H01L 31/06.

[5] ТишинЮ.И., ГергельВ.А., ЗимоглядВ.А., ВанюшинИ.В., ЛепендинА.В.. Фотоприемнаяячейка// Пат. № 2291518 Россия, МПК H01L 31/06.

[6] Тишин Ю.И., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Ванюшин И.В., Лепендин А.В.. Фотоприемнаяячейкас разделением цветов// Пат. № 2297074 Россия, МПК H01L 27/146.

[7] Dierickx B., Meynants G., Scheffer D. Near 100% fill factor CMOS active pixels// Proceedings of IEEE CCD & AIS workshop, Brugge, Belgium. 5-7 June 1997. P. P1.

[8] Ванюшин И.В., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Лепендин А.В., Тишин Ю.И. Фотоячейка с разделением цветов// Пат. № 2309483 Россия. МПК H01L 031/06.

[9] Ванюшин И.В., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Лепендин А.В., Тишин Ю.И. Односекционная фотоячейка с разделением цветов// Пат. № 2309485 Россия, МПК H01L 031/06.

[10] USA Patent № 5,965,875. October 1999.

[11] Ванюшин И.В., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Тишин Ю.И. Коррекция спектральной чувствительности кремниевых фотодиодов имплантацией дополнительной примеси в подложку// Микроэлектроника. 2005. Т. 34, № 3. С. 155-159.

[12] Зи. С. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1984.