Интегральные микроэлектромеханические системы (iМЭМС) ? новое направлении микроэлектроники

А.М. Лагун; Е.А. Трудновская; Д.В. Рыбин; П.Р. Машевич

Интегральные микроэлектромеханические системы (iМЭМС) ? новое направлении микроэлектроники

А.М. Лагун¹, Е.А. Трудновская², Д.В. Рыбин³, П.Р. Машевич⁴

научная статья

Аннотация

Для цитирования

Лагун А.М., Трудновская Е.А., Рыбин Д.В., Машевич П.Р. Интегральные микроэлектромеханические системы (iМЭМС) ? новое направлении микроэлектроники // Успехи современной радиоэлектроники. 2008. № 7.