Полупроводниковые и микроэлектромеханические фазовращатели СВЧ-диапазона

По материалам зарубежных публикаций за последние 20 лет сделан аналитический обзор результатов исследований и разработок полупроводниковых и микроэлектромеханических фазовращателей СВЧ-диапазона, изготовленных по технологиям ГИС (гибридные интегральные схемы), МИС (монолитные интегральные схемы) и МЭМС (микроэлектромеханические структуры). Описаны новые типы фазовращателей, в схемах которых используются принципы: переключения отрезков линий передачи, коммутации реактивных элементов, установленных в длинных линиях, переключения фильтров, векторного сложения сигналов, переключения направления возбуждения линий передачи, модуляции коэффициента отражения и, наконец, микроэлектромеханической коммутации.