И.Ю. Грачев

1 статья 2020

Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век 1

2020

Расчет электромагнитного поля плоского индуктора установки плазмохимического травления Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век, №1 за 2020 г. С. 29-42