В.Н. Зима

V.N. Zima

1 статья 2014

Успехи современной радиоэлектроники 1

2014

Влияние технологических параметров магнетронного распыления на механические напряжения и шероховатость поверхности пленок молибдена Успехи современной радиоэлектроники, №11 за 2014 г. С. 62-69