Р. Ивлев

R. Ivlev

1 статья 2012

Наноматериалы и наноструктуры - XXI век 1

2012

Структура наноразмерных пленок углерода и карбида кремния на кремнии, полученных магнетронным и ионно-лучевым распылением мишени Наноматериалы и наноструктуры - XXI век, №4 за 2012 г. С. 30-35