А.Б. Соломашенко

A.B. Solomashenko

1 статья 2023

Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век 1

2023

Плазмохимическое травление кварцевого стекла гексафторидом серы Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век, №3 за 2023 г. С. 32-46