Surface defects influence on microcantilever dynamic properties
- 1 д.ф.-м.н., профессор, кафедра общей физики, Московский Институт Электронной техники
- 2 аспирант, кафедра общей физики, Московский Институт Электронной техники
Abstract
Theory is compared with the finite element method results. There is also rough surface description and corresponding frequency shift described in the article. FEM model also calculated for that case.
How to cite
Гайдуков Г.Н., Пагин П.С. Влияние дефектов поверхности на динамические свойства микрокантилеверов // Наукоемкие технологии. 2011. № 7. С. 54–56.
References
- Гайдуков Г.Н.Исследование влияния упругого взаимодействия на формирование дефектных структур и примесных неоднородностей в полупроводниковых материалах. М.: МИЭТ. 1992.
- Eom K., Kwon T., Yoon D. // Phys.Rev. B 76. 113408. 2007.
- Weissmuller J. and Duan H. // Phys.Rev. Lett. 101. 146102. 2008
- Lu P., Lee H.P., Lu C., and O-Shea S.J. // Phys. Rev. B 72. 085405. 2005.