УСКОРИТЕЛЬ ГАЗОВЫХ КЛАСТЕРНЫХ ИОНОВ

А.А. АНДРЕЕВ; Ю.А. ЕРМАКОВ; А.Е. ИЕШКИН; А.С. ПАТРАКЕЕВ; В.С. ЧЕРНЫШ

УСКОРИТЕЛЬ ГАЗОВЫХ КЛАСТЕРНЫХ ИОНОВ

А.А. АНДРЕЕВ¹, Ю.А. ЕРМАКОВ², А.Е. ИЕШКИН³, А.С. ПАТРАКЕЕВ⁴, В.С. ЧЕРНЫШ⁵

research article Pages: 3-11

^4,5 ОАО «Тензор», Москва НИИЯФ МГУ, Москва Физический факультет МГУ

Keywords: clusters pulse regime nanotechnology

Abstract

The accelerator of gas cluster ions with energies up to 20 keV is described. Parameters of main components of the equipment were determined. A pulse regime of the accelerator was demonstrated can be realised under a relatively pour (less then 500 l/sec) pumping speed of the cluster ions source. Conditions of a cluster beam steady generation were found. Cluster ions ArN+ with a number of atoms N ≥ 500 were detected in the beam by using deflection in a homogeneous magnetic field.

How to cite

АНДРЕЕВ А.А., ЕРМАКОВ Ю.А., ИЕШКИН А.Е., ПАТРАКЕЕВ А.С., ЧЕРНЫШ В.С. УСКОРИТЕЛЬ ГАЗОВЫХ КЛАСТЕРНЫХ ИОНОВ // Наукоемкие технологии. 2011. № 6. С. 3–11.

References

Елецкий А.В., Смирнов Б.М. Свойства кластерных ионов // УФН. 1989. Т. 159. С. 45.
Sigmund P. Mechanisms and theory of physical sputtering by particle impact // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 1987.V. 27. Р. 1.
Insepov Z., Yamada I.Molecular dynamics study of shock wave generation by cluster impact on solid targets // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 1996.V. 112. Р.16.
Yamada I., Toyoda N. Summary of recent research on gas cluster ion beam process technology // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 2005. V. 232. P.195.
Андреев А.А., Ермаков Ю.А., Патракеев А.С., Черныш В.С. Применение кластерных ионов в нанотехнологии // Нанотехнологии: разработка, применение. 2009. Т.1. № 1. С. 23.
PopokV.N., PrasalovichS.V., SamuelssonM., Campbell E.E.B. Design and capabilities of cluster implantation and deposition apparatus: First results on hillock formation under energetic cluster ion bombardment // Rev. Sci. Instr. 2002.V. 73.P. 4283.
Seki T., Matsuo J. Development of 1 mA cluster ion beam source // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 2005. V. 237. P. 455.
Андреев А.А., Ермаков Ю.А., Патракеев А.С., Черныш В.С. Проект ускорителя газовых кластерных ионов // Материалы 7-й Междунар. конференции «Взаимодействие излучений с твердым телом». Минск. 2007. С. 354.
Crist S., Sherman P.M., Glass D.R.Study of the Highly Underexpanded Sonic Jet // AIAA J. 1966. V. 4. Р. 68.
Hagena O.F., Obert W. Cluster Formation in Expanding Supersonic Jets: Effect of Pressure, Temherature, Nozzle Size, and Test Gas // J. Chem. Phys. 1972. V. 56. P. 1793.
Андреев А.А., Бачурин В.И., Линник С.П., Черныш В.С. Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия. Харьков: Изд-во ХГУ. 1983. C.305.
Андреев А.А., Ермаков Ю.А., Иешкин А.Е., Черныш В.С. Расплывание пучков кластерных ионов // Труды XVII Международной конференции по электростатическим ускорителям и пучковым технологиям. Обнинск. 2008. C.187.

[1] Елецкий А.В., Смирнов Б.М. Свойства кластерных ионов // УФН. 1989. Т. 159. С. 45.

[2] Sigmund P. Mechanisms and theory of physical sputtering by particle impact // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 1987.V. 27. Р. 1.

[3] Insepov Z., Yamada I.Molecular dynamics study of shock wave generation by cluster impact on solid targets // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 1996.V. 112. Р.16.

[4] Yamada I., Toyoda N. Summary of recent research on gas cluster ion beam process technology // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 2005. V. 232. P.195.

[5] Андреев А.А., Ермаков Ю.А., Патракеев А.С., Черныш В.С. Применение кластерных ионов в нанотехнологии // Нанотехнологии: разработка, применение. 2009. Т.1. № 1. С. 23.

[6] PopokV.N., PrasalovichS.V., SamuelssonM., Campbell E.E.B. Design and capabilities of cluster implantation and deposition apparatus: First results on hillock formation under energetic cluster ion bombardment // Rev. Sci. Instr. 2002.V. 73.P. 4283.

[7] Seki T., Matsuo J. Development of 1 mA cluster ion beam source // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 2005. V. 237. P. 455.

[8] Андреев А.А., Ермаков Ю.А., Патракеев А.С., Черныш В.С. Проект ускорителя газовых кластерных ионов // Материалы 7-й Междунар. конференции «Взаимодействие излучений с твердым телом». Минск. 2007. С. 354.

[9] Crist S., Sherman P.M., Glass D.R.Study of the Highly Underexpanded Sonic Jet // AIAA J. 1966. V. 4. Р. 68.

[10] Hagena O.F., Obert W. Cluster Formation in Expanding Supersonic Jets: Effect of Pressure, Temherature, Nozzle Size, and Test Gas // J. Chem. Phys. 1972. V. 56. P. 1793.

[11] Андреев А.А., Бачурин В.И., Линник С.П., Черныш В.С. Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия. Харьков: Изд-во ХГУ. 1983. C.305.

[12] Андреев А.А., Ермаков Ю.А., Иешкин А.Е., Черныш В.С. Расплывание пучков кластерных ионов // Труды XVII Международной конференции по электростатическим ускорителям и пучковым технологиям. Обнинск. 2008. C.187.

Abstract

How to cite

Related articles