Десорбция примесей из монокристаллов кремния при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке

Аснис Е. А.; Баранский П.И.; Бабич В.М.; Гайдар А.В.; Заболотин С.П.

Десорбция примесей из монокристаллов кремния при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке

Аснис Е. А.¹, Баранский П.И.², Бабич В.М.³, Гайдар А.В.⁴, Заболотин С.П.⁵

research article

Abstract

Исследована зависимость удаления легирующей (фосфор) и фоновой (кислород) примесей из объема монокристаллов Si от уровня вакуума при электронно-лучевой бестигельной зонной перекристаллизации (БЗП); показано, что для получения кристаллов Si методом БЗП с пониженной концентрацией названных выше примесей процесс перекристаллизации необходимо проводить в условиях, повозможности, более глубокого вакуума.

How to cite

Аснис Е.А., Баранский П.И., Бабич В.М., Гайдар А.В., Заболотин С.П. Десорбция примесей из монокристаллов кремния при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке // Наукоемкие технологии. 2004. № 6.