Оптическая диагностика высококачественной и СВЧ-плазмы

Рассмотрены методы оптической диагностики плазмы с целью использования их для определения параметров высокочастотного и СВЧ-разрядов при давлении, близком к атмосферному. Выбраны методы измерения концентрации заряженных частиц и температуры электронов в разряде. Проведены экспериментальные исследования, показавшие, что в СВЧ-плазмотроне при определенных условиях концентрация нейтральных атомов аргона и степень ионизации газа составляют соответственно 9·1017 см-3 и 0,17% соответственно.