Нелинейная математическая модель процесса формирования тонкого легированного слоя при удалении примесей из германия и кремния

Разработана нелинейная математическая модель процесса формирования тонкого легированного слоя при удалении примесей из германия и кремния при перекристаллизации и вытягивании; показано, что при отсутствии перемешивания расплава фронт кристаллизации формируется только за счет диффузии примесей в жидкой фазе и при достаточно малых скоростях вытягивания примесь, оттесняемая из кристаллизирующейся фазы в расплав, не будет успевать диффундировать от фронта кристаллизации; конкуренция диффузии и кристаллизации, за счет которой формируется узкая область, обогащенная или обедненная примесью, описана нелинейным параболическим уравнением.