Silicon nanopore size Determination bu positron annygilation spectroscopy

Chaplygin Yu.A.; Grafutin V.I.; Prokopev E.P.; Timoshenkov S.P.

Silicon nanopore size Determination bu positron annygilation spectroscopy

Chaplygin Yu.A.¹, Grafutin V.I.², Prokopev E.P.³, Timoshenkov S.P.⁴

research article Pages: 56-63

¹ чл.-корр. РАН, ректор, Московский государственный институт электронной техники (Москва, Зеленоград)
² к.ф-м.н, ст.н.с, зав. лабораторией, Институт теоретической и экспериментальной физики им. А.И. Алиханова (Москва)
³ д.т.н., профессор, зав. кафедрой, Московский государственный институт электронной техники (Москва, Зеленоград)
⁴ к.ф-м.н., ст.н.с., Институт теоретической и экспериментальной физики им. А.И. Алиханова (Москва)

Keywords: nanopores annihilation photon porous silicon concentration of nanopores silicon plates irradiated by protons

Abstract

On a method of angular distribution of annihilation photons (ADAP) are certain a chemical compound of environment in a annihilation place on external valent electrons atoms of silicon of «wall» of a pores, the sizes and concentration of nanodefects in porous silicon, in the monocrystal silicon plates irradiated by protons.

How to cite

ЧАПЛЫГИН Ю.А., ГРАФУТИН В.И., ТИМОШЕНКОВ С.П., ПРОКОПЬЕВ Е.П. Определение радиусов нанопор в кремнии методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. 2010. № 3. С. 56–63.

References

Гаврилов С.А., Графутин В.И., Павлов Л.М., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П.Возможность определения нанообъектов пустоты в наноматериалах позитронным методом // тезисы докл. VI конф. по физике высоких энергий, ядерной физике и ускорителям. 25-29 февраля 2008. г. Харьков. Харьков: ХФТИ. 2008. С.70.
Николис Г., Пригожин И. Познание сложного. Введение. М.: Мир. 1990. Гл. 6. 342 с.
Прокопьев Е.П. Возможные химические реакции для случая неравновесных фазовых переходов в атмосфере дефектов кремния // Физика и химия обработки материалов. 1992. № 4. С. 107.
Прокопьев Е.П.О возможности синергетического подхода к эволюции свойств технически важных материалов // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. Вып.21. С. 80-84.
Пригожин И. От существующего к возникающему. М.: Мир. 1985. 342 с.
Гольданский В.И.Физическая химия позитрона и позитрония. М.: Наука. 1968.
Графутин В.И., Прокопьев Е.П. Применение позитронной аннигиляционной спектроскопии для изучения строения вещества. Успехи физических наук. 2002. Т. 172. № 1. С. 67-83.
Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Графутин В.И., Мясищева Г.Г., Фунтиков Ю.В. Позитроника ионных кристаллов, полупроводников и металлов. М.: МИЭТ. 1999.
Гусев А.И.Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. М.: Физматлит. 2005.
Бритков О.М., Гаврилов С.А., Графутин В.И., Дягилев В.В., Калугин В.В., Илюхина О.В., Мясищев Г.Г., Светлов-Про-копьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Применение метода позитронной аннигиляционной спектроскопии для исследования дефектов структурытвердого тела. Вопросы атомной науки и техники (Вант) (Саров) // Серия теоретическая и прикладная физика. 2004. Вып. 3. С. 40-50.
Графутин В.И., Илюхин О.В., Калугин В.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Фунтиков Ю.В., Тимошенков А.С., Григорьев Д.К., Тимошенков С.П. Исследование позитронных состояний и дефектов в кремнии, облученном протонами // Физика и химия обработки материалов. 2006. № 5. С. 5-12.
Гаврилов С.А., Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В.Прямое экспериментальное наблюдение атома позитрония в пористом кремнии методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Письма в ЖЭТФ. 2005. Т. 81. Вып. 11-12. С. 680-682.
Jean Y.C.positron annihilation spectroscopy for chemical analysis: a novel probe for microstructural analysis of polymers // Microchem. J. 1990. V.42 (1). P. 72-102.
Бритков О.М., Гаврилов С.А., Графутин В.И., Калугин В.В., Тимошенков Ал.С., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Тимошенков Ан.С., Светлов-Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Григорьев Д.К., Фунтиков Ю.В. Позитронная аннигиляционная спектроскопия и свойства пористого кремния // Петербургский журнал электроники. 2007. № 3. C. 15-28.
Бабичев А.П., Бабушкина Н.А., Братковский А.М. и др. Физические величины: справочник / под ред. И.С. Григорьева и Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат. 1991.
Графутин В.И., Залужный А.Г., Тимошенков С.П., Бритков О.М., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Фунтиков Ю.В. Исследование позитронных состояний и нанообъектов в монокристаллах кварца, облученных протонами. Атом позитрония в кварце // ЖЭТФ. 2008. V. 133 (3). P. 723-734.
Прокопьев Е.П.Диффузионно-аннигиляционная модель распада позитронных состояний на сферических дефектах в металлах // Письма в ЖТФ. 1990. Т. 16. Вып. 24. С. 6-10.
Dannefaer s.Defect and oxygen in silicon studied by positrons // phys. Stat. Sol. (a). 1987. V. 102 (2). P. 481-491.
Chaplygin Yu.A., Grafutin V.I., Svetlov-Prokopiev E.P., Timoshenkov S.P. Positronics and nanotechnologies: possibilities of studying nano-objects in technically important materials and nanomaterials // In book: advances in nanotechnology. 2010. V. 1. Editors: E. J. Chen and N. Peng. Nova science publishers. New York. 2010. P. 191-208. https://www.novapublishers.com/catalog/product_info.php-cpath=23_96&products_id=10207&oscsid=9c7f4bdf96ee0b265245e976a7c8d2fc
Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В., Чаплыгин Ю.А.Применение и развитие методов позитронной аннигиляционной спектроскопии для определения размеров нанообъектов в пористых системах, дефектных материалах и наноматериалах // Наноструктуры. Математическая физика и моделирование. 2010. T. 2. № 2. C. 15-42.
Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В., Бурцл Р. Позитроника и нанотехнологии: возможности изучения нанообъектов в материалах и наноматериалах методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Ядерная физика.2009. V. 72 (10). Р. 1730-1739.
Chaplygin Y.A., Gavrilov S.A., Grafutin V.I., Svetlov-Prokopiev E.P., And Timoshenkov S.P. Positronics and nanotechnologies: possibilities of studying nano-objects in technically important materials and nanomaterials // Proc. Imeche. Part N: J. Nanoengineering and nanosystems. 2007. V. 221 (4). P. 125-132.
Прокопьев Е.П., Графутин В.И., Тимошенков С.П., Евстафьев С.С., Фунтиков Ю.В. Позитроника и нанотехнологии: возможности изучения нанообъектов в технически важных материалах методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Микроэлектроника. 2009. V. 38 (6). P. 464-475.
Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П.,Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Позитроника нанообъектов в пористых и дефектных системах на основе кремния и кварца // Украинский физический журнал. 2009. V. 54 (5). Р. 443-453.
Графутин В.И., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Позитроника и нанотехнологии: определение
размеров нанообъектов в пористых системах, наноматериалах и некоторых дефектных материалах методом позитронной аннигиляционной спектроскопии (обзор) // Заводская лаборатория. 2009. V. 75 (6). P. 27-36.
Чаплыгин Ю.А., Графутин В.И., Тимошенков С.П., Прокопьев Е.П.Определение размеров нанообъектов в пористых системах и дефектных материалах по методу УРАФ. // Материалы VII Международной НТК «Intermatic - 2009» ( 7-11 декабря 2009, г. Москва). М.: Энергоатомиздат. 2009. Ч. 2. С. 17-19.
Графутин В.И., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Определение радиусов нанообъектов в пористых системах и некоторых дефектных материалах методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные изучения. 2009. № 12. С. 24-32.
Бурцл Р., Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Возможности изучения нанообъектов в пористом кремнии и подложках кремния, облученных протонами, методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Физика твердого тела. 2010.V. 52(4). P. 651-654.
Бабичев А.П., Бабушкина Н.А., Братковский А.М. и др. Физические величины: справочник / под редакцией И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат. 1991. 1232 с.
Бургуэн Ж., Ланно М. Точечные дефекты в полупроводниках. Экспериментальные аспекты. М.: Мир. 1985.
Urban Knut W. Studying atomic structures by aberration-corrected transmission electron microscopy. Review // Science. 2008. V. 321 (5888). P. 506-510 (look also: http://www.membrana.ru/lenta/?7664#).

[1] Гаврилов С.А., Графутин В.И., Павлов Л.М., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П.Возможность определения нанообъектов пустоты в наноматериалах позитронным методом // тезисы докл. VI конф. по физике высоких энергий, ядерной физике и ускорителям. 25-29 февраля 2008. г. Харьков. Харьков: ХФТИ. 2008. С.70.

[2] Николис Г., Пригожин И. Познание сложного. Введение. М.: Мир. 1990. Гл. 6. 342 с.

[3] Прокопьев Е.П. Возможные химические реакции для случая неравновесных фазовых переходов в атмосфере дефектов кремния // Физика и химия обработки материалов. 1992. № 4. С. 107.

[4] Прокопьев Е.П.О возможности синергетического подхода к эволюции свойств технически важных материалов // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. Вып.21. С. 80-84.

[5] Пригожин И. От существующего к возникающему. М.: Мир. 1985. 342 с.

[6] Гольданский В.И.Физическая химия позитрона и позитрония. М.: Наука. 1968.

[7] Графутин В.И., Прокопьев Е.П. Применение позитронной аннигиляционной спектроскопии для изучения строения вещества. Успехи физических наук. 2002. Т. 172. № 1. С. 67-83.

[8] Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Графутин В.И., Мясищева Г.Г., Фунтиков Ю.В. Позитроника ионных кристаллов, полупроводников и металлов. М.: МИЭТ. 1999.

[9] Гусев А.И.Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. М.: Физматлит. 2005.

[10] Бритков О.М., Гаврилов С.А., Графутин В.И., Дягилев В.В., Калугин В.В., Илюхина О.В., Мясищев Г.Г., Светлов-Про-копьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Применение метода позитронной аннигиляционной спектроскопии для исследования дефектов структурытвердого тела. Вопросы атомной науки и техники (Вант) (Саров) // Серия теоретическая и прикладная физика. 2004. Вып. 3. С. 40-50.

[11] Графутин В.И., Илюхин О.В., Калугин В.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Фунтиков Ю.В., Тимошенков А.С., Григорьев Д.К., Тимошенков С.П. Исследование позитронных состояний и дефектов в кремнии, облученном протонами // Физика и химия обработки материалов. 2006. № 5. С. 5-12.

[12] Гаврилов С.А., Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В.Прямое экспериментальное наблюдение атома позитрония в пористом кремнии методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Письма в ЖЭТФ. 2005. Т. 81. Вып. 11-12. С. 680-682.

[13] Jean Y.C.positron annihilation spectroscopy for chemical analysis: a novel probe for microstructural analysis of polymers // Microchem. J. 1990. V.42 (1). P. 72-102.

[14] Бритков О.М., Гаврилов С.А., Графутин В.И., Калугин В.В., Тимошенков Ал.С., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Тимошенков Ан.С., Светлов-Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Григорьев Д.К., Фунтиков Ю.В. Позитронная аннигиляционная спектроскопия и свойства пористого кремния // Петербургский журнал электроники. 2007. № 3. C. 15-28.

[15] Бабичев А.П., Бабушкина Н.А., Братковский А.М. и др. Физические величины: справочник / под ред. И.С. Григорьева и Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат. 1991.

[16] Графутин В.И., Залужный А.Г., Тимошенков С.П., Бритков О.М., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Фунтиков Ю.В. Исследование позитронных состояний и нанообъектов в монокристаллах кварца, облученных протонами. Атом позитрония в кварце // ЖЭТФ. 2008. V. 133 (3). P. 723-734.

[17] Прокопьев Е.П.Диффузионно-аннигиляционная модель распада позитронных состояний на сферических дефектах в металлах // Письма в ЖТФ. 1990. Т. 16. Вып. 24. С. 6-10.

[18] Dannefaer s.Defect and oxygen in silicon studied by positrons // phys. Stat. Sol. (a). 1987. V. 102 (2). P. 481-491.

[19] Chaplygin Yu.A., Grafutin V.I., Svetlov-Prokopiev E.P., Timoshenkov S.P. Positronics and nanotechnologies: possibilities of studying nano-objects in technically important materials and nanomaterials // In book: advances in nanotechnology. 2010. V. 1. Editors: E. J. Chen and N. Peng. Nova science publishers. New York. 2010. P. 191-208. https://www.novapublishers.com/catalog/product_info.php-cpath=23_96&products_id=10207&oscsid=9c7f4bdf96ee0b265245e976a7c8d2fc

[20] Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В., Чаплыгин Ю.А.Применение и развитие методов позитронной аннигиляционной спектроскопии для определения размеров нанообъектов в пористых системах, дефектных материалах и наноматериалах // Наноструктуры. Математическая физика и моделирование. 2010. T. 2. № 2. C. 15-42.

[21] Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В., Бурцл Р. Позитроника и нанотехнологии: возможности изучения нанообъектов в материалах и наноматериалах методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Ядерная физика.2009. V. 72 (10). Р. 1730-1739.

[22] Chaplygin Y.A., Gavrilov S.A., Grafutin V.I., Svetlov-Prokopiev E.P., And Timoshenkov S.P. Positronics and nanotechnologies: possibilities of studying nano-objects in technically important materials and nanomaterials // Proc. Imeche. Part N: J. Nanoengineering and nanosystems. 2007. V. 221 (4). P. 125-132.

[23] Прокопьев Е.П., Графутин В.И., Тимошенков С.П., Евстафьев С.С., Фунтиков Ю.В. Позитроника и нанотехнологии: возможности изучения нанообъектов в технически важных материалах методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Микроэлектроника. 2009. V. 38 (6). P. 464-475.

[24] Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П.,Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Позитроника нанообъектов в пористых и дефектных системах на основе кремния и кварца // Украинский физический журнал. 2009. V. 54 (5). Р. 443-453.

[25] Графутин В.И., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Позитроника и нанотехнологии: определение
размеров нанообъектов в пористых системах, наноматериалах и некоторых дефектных материалах методом позитронной аннигиляционной спектроскопии (обзор) // Заводская лаборатория. 2009. V. 75 (6). P. 27-36.

[26] Чаплыгин Ю.А., Графутин В.И., Тимошенков С.П., Прокопьев Е.П.Определение размеров нанообъектов в пористых системах и дефектных материалах по методу УРАФ. // Материалы VII Международной НТК «Intermatic - 2009» ( 7-11 декабря 2009, г. Москва). М.: Энергоатомиздат. 2009. Ч. 2. С. 17-19.

[27] Графутин В.И., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Определение радиусов нанообъектов в пористых системах и некоторых дефектных материалах методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные изучения. 2009. № 12. С. 24-32.

[28] Бурцл Р., Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Возможности изучения нанообъектов в пористом кремнии и подложках кремния, облученных протонами, методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Физика твердого тела. 2010.V. 52(4). P. 651-654.

[29] Бабичев А.П., Бабушкина Н.А., Братковский А.М. и др. Физические величины: справочник / под редакцией И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат. 1991. 1232 с.

[30] Бургуэн Ж., Ланно М. Точечные дефекты в полупроводниках. Экспериментальные аспекты. М.: Мир. 1985.

[31] Urban Knut W. Studying atomic structures by aberration-corrected transmission electron microscopy. Review // Science. 2008. V. 321 (5888). P. 506-510 (look also: http://www.membrana.ru/lenta/?7664#).

Abstract

How to cite

Related articles