Influence of different composition and number of layers of electrode structures on the characteristics of SAW filters

A.S. Bagdasarian; Т.V. Sinitsyna; А.Т. Garifulina; А.S. Gruzdev; S.S. Dorofeeva

doi:10.18127/j20700784–201809–06

Influence of different composition and number of layers of electrode structures on the characteristics of SAW filters

A.S. Bagdasarian¹, Т.V. Sinitsyna², А.Т. Garifulina³, А.S. Gruzdev⁴, S.S. Dorofeeva⁵

research article UDC 621.372.54 Pages: 49-58 doi.org/10.18127/j20700784–201809–06

¹ Dr.Sc. (Eng.), Professor, Chief Research Scientist, JSC «Scientific Engineering Center «Technological Developments Of Telecommunication And Radio Frequency Identification», Kotelnikov Institute of Radio Engineering and Electronics of RAS
² Ph.D. (Eng.), Chief Вesigner, JSC «BUTIS» (Moscow)
³ Chief Inspector, JSC «BUTIS» (Moscow)
⁴ Research Scientist, JSC «BUTIS» (Moscow)
⁵ Chief Engineer, JSC «BUTIS» (Moscow)

Keywords: surface acoustic wave (SAW)inter digital transducer (IDT)SAW device multi-layer structure radio signal power

Abstract

The article is devoted to the influence of multilayer electrode structures of Ti-Al and V-Al on the characteristics of surface acoustic wave filters designed to handle the high power RF signals.

How to cite

Багдасарян А.С., Синицына Т.В., Гарифулина А.Т., Груздев А.С., Дорофеева С.С. Влияние различных по составу и числу слоев электродных структур на характеристики ПАВ-фильтров // Успехи современной радиоэлектроники. 2018. № 9. С. 49–58. DOI: https://doi.org/10.18127/j20700784–201809–06

References

Gulyaev Yu.V., Bagdasaryan A.S., Sinicihna T.V., Mashinin O.V., Praporthikov V.V., Orlov M.M., Egorov R.V. PAV-filjtrih vo vkhodnihyj kaskadakh priemoperedayuthikh ustroyjstv // Nauka i tekhnologii v promihshlennosti. 2006. № 4. S. 82–88.
Bagdasaryan A., Sinicihna T., Mashinin O., Ivanov P., Egorov R. Ustroyjstva chastotnoyj selekcii v sovremennihkh sistemakh svyazi, radiolokacii i telekommunikacii // Ehlektronika: Nauka, Tekhnologiya, Biznes. 2013. № 8 (131). S. 128–136.
Bagdasaryan A., Bagdasaryan S., Karapetjyan G., Mashinin O., Sinicihna T. Impedansnihe filjtrih na PAV dlya telekommunikacionnihkh sistem. Rossiyjskiyj prioritet // Ehlektronika: Nauka, Tekhnologiya, Biznes». 2014. № 7 (139). S. 48–65.
Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Kondratjev S.N., Mashinin O.V. Filjtrih na poverkhnostnihkh akusticheskikh volnakh s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu dlya radiotekhnicheskikh sistem svyazi: konstruktivno-tekhnologicheskie osobennosti // Teoriya i tekhnika radiosvyazi. 2015. № 3. S. 40–45.
Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Kondratjev S.N., Mashinin O.V., Egorov R.V. Filjtrih s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu dlya radiotekhnicheskikh sistem: filjtr na PAV na nominaljnuyu chastotu 216 MGc // Teoriya i tekhnika radiosvyazi. 2015. № 3. S. 28–39.
Nikitov S.A., Bagdasaryan A.S., Kondratjev S.N., Sinicihna T.V., Mashinin O.V., Gruzdev A.S. Filjtrih na poverkhnostnihyj akusticheskikh volnakh s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu dlya sistem svyazi, radiolokacionnoyj i telekommunikacionnoyj apparaturih na nominaljnuyu chastotu 2170 MGc // Radiotekhnika i ehlektronika. 2016. № 4. S. 389–394.
Bagdasaryan A.S., Sinicihna T.V., Mashinin O.V., Egorov R.V. SVCh filjtrih na PAV s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu dlya sistem i apparaturih peredachi i obrabotki informacii // Trudih NIIR. 2016. № 1. S. 26–31.
Bagdasaryan A.S., Sinicihna T.V. Filjtrih na PAV, vihderzhivayuthie vkhodnuyu mothnostj radiosignala 1-2 Vt, dlya telekommunikacionnoyj apparaturih // Tekhnika radiosvyazi. 2016. № 3 (30). S. 80–89.
Sinicihna T.V., Garifulina A.T. Konstruktivno-tekhnologicheskie osobennosti realizacii filjtrov na PAV s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu // V sb.: Informatika i tekhnologii. Innovacionnihe tekhnologii v promihshlennosti i informatike. Sb. nauch. trudov Mezhdunar. nauch.-tekhnich. konf. Moskovskiyj tekhnologicheskiyj universitet, Fiziko-tekhnologicheskiyj institut. 2016. S. 191–194.
Nakagawara O., Saeki M., Teramoto A., Hasegawa M., Ieki H. High Power Durable SAW Filter with Epitaxial Aluminium Electrodes on 38.5 Rotated Y-X LiTaO3 by Two-Step Process Sequence in Titanium Intermediate Layer // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2003. R. 1734–1737.
Pekarckova M., Hofmann M., Menzel S., Schmidt H., Gemming T., Wetzig K. Investigation of High Power Effects on Ti/Al and Ta-Si-N/Cu/Ta-Si-N Electrodes for SAW Devices // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2005. R. 911–914.
Bagdasaryan A.S., Sinicihna T.V., Gruzdev A.S., Garifulina A.T. Bazovihe konstrukcii filjtrov na PAV s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu dlya radiotekhnicheskikh sistem svyazi // V sb.: Vihsokie tekhnologii v promihshlennosti Rossii. Tonkie plenki v ehlektronike. Nanoinzheneriya. Sb. nauch. trudov KhKhI Mezhdunar. nauch.-tekhnich. konf. XXVIII Mezhdunar. simpoziuma i VIII Mezhdunar. nauch.-tekhnich. konf. 2016. S. 35–41.
Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Butenko V.V., Danilov A.L., Ivanov P.G. Sintez filjtrov na PAV dlya sistem svyazi, radiolokacionnoyj i telekommunikacionnoyj apparaturih // Ehlektrosvyazj. 2016. № 11. S. 81–86.
Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S. Sintez filjtrov na poverkhnostnihkh akusticheskikh volnakh: sistema avtomatizirovannogo proektirovaniya (SAPR) // Teoriya i tekhnika radiosvyazi. 2017. № 4. S. 84–92.
Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Garifulina A.T., Gruzdev A.S., Praporthikov V.V. Sistema avtomatizirovannogo proektirovaniya filjtrov na poverkhnostnihkh akusticheskikh volnakh s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu // Naukoemkie tekhnologii. 2018. № 3. S. 4–9.
Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Garifulina A.T., Gruzdev A.S., Dorofeeva S.S. Konstruktivno-tekhnologicheskie osobennosti ustroyjstv na PAV dlya obrabotki radiochastotnihkh signalov vihsokoyj mothnosti: Issledovaniya sposobov minimizacii poterj v rezonatorakh dlya usloviyj mnogosloyjnogo napihleniya // Naukoemkie tekhnologii. 2018. № 2. S. 46–57.
Sinicihna T.V., Butenko V.V., Bagdasaryan A.S., Garifulina A.T., Gruzdev A.S., Dorofeeva S.S. Minimizaciya iskazheniyj kharakteristik PAV-ustroyjstv, obuslovlennihkh nalichiem parazitnihkh mod vihsshikh poryadkov // Ehlektrosvyazj. 2018. № 2.
Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Nikolaev V.I. Osobennosti proektirovaniya ustroyjstv na poverkhnostnihkh akusticheskikh volnakh volnovodnogo tipa // Teoriya i tekhnika radiosvyazi. 2016. № 2. S. 92–104.
Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Nikolaev V.I., Garifulina A.T., Gruzdev A.S., Dorofeeva S.S. Minimizaciya iskazheniyj kharakteristik PAV-ustroyjstv, obuslovlennihkh nalichiem parazitnihkh ehlementov konstrukcii // Teoriya i tekhnika radiosvyazi. 2018. № 1. S. 112–116.
Bagdasaryan A.S., Sinicihna T.V. Analiz VShP metodom svyazannihkh mod // Sistemih i sredstva svyazi, televideniya i radiovethaniya. 2003. № 1–2. S. 11–15.
Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Butenko V.V., Danilov A.L., Ivanov P.G. Filjtrih na PAV s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu: bazovihe modeli dlya analiza ehlektrodnihkh struktur // Ehlektrosvyazj. 2015. № 10. S. 65–70.
Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Praporthikov V.V. Metodih modelirovaniya ustroyjstv na poverkhnostnihkh akusticheskikh volnakh // Materiali Mezhdunar. nauch.-tekhnich. konf. «Informatika i tekhnologii. Innovacionnihe tekhnologii v promihshlennosti i informatike» («MNTK FTI-2017») / Pod red. M.F. Bulatova. 2017. S. 259–261.
Sinicihna T.V., Mashinin O.V., Bagdasaryan A.S., Ljvov V.F., Garifulina A.T. Ispihtaniya PAV-filjtrov na vozdeyjstvie signala s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu // Trudih NIIR. 2015. № 4. S. 9–13.
Sinicihna T.V., Garifulina A.T., Gruzdev A.S., Bagdasaryan A.S. Issledovanie ehkspluatacionnihkh kharakteristik PAV filjtrov v usloviyakh povihshennoyj mothnosti vkhodnogo signala // Materiali Mezhdunar. nauch.-tekhnich. konf. «Informatika i tekhnologii. Innovacionnihe tekhnologii v promihshlennosti i informatike» («MNTK FTI-2017») / Pod red. M.F. Bulatova. 2017. S. 253–256.

[1] Gulyaev Yu.V., Bagdasaryan A.S., Sinicihna T.V., Mashinin O.V., Praporthikov V.V., Orlov M.M., Egorov R.V. PAV-filjtrih vo vkhodnihyj kaskadakh priemoperedayuthikh ustroyjstv // Nauka i tekhnologii v promihshlennosti. 2006. № 4. S. 82–88.

[2] Bagdasaryan A., Sinicihna T., Mashinin O., Ivanov P., Egorov R. Ustroyjstva chastotnoyj selekcii v sovremennihkh sistemakh svyazi, radiolokacii i telekommunikacii // Ehlektronika: Nauka, Tekhnologiya, Biznes. 2013. № 8 (131). S. 128–136.

[3] Bagdasaryan A., Bagdasaryan S., Karapetjyan G., Mashinin O., Sinicihna T. Impedansnihe filjtrih na PAV dlya telekommunikacionnihkh sistem. Rossiyjskiyj prioritet // Ehlektronika: Nauka, Tekhnologiya, Biznes». 2014. № 7 (139). S. 48–65.

[4] Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Kondratjev S.N., Mashinin O.V. Filjtrih na poverkhnostnihkh akusticheskikh volnakh s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu dlya radiotekhnicheskikh sistem svyazi: konstruktivno-tekhnologicheskie osobennosti // Teoriya i tekhnika radiosvyazi. 2015. № 3. S. 40–45.

[5] Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Kondratjev S.N., Mashinin O.V., Egorov R.V. Filjtrih s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu dlya radiotekhnicheskikh sistem: filjtr na PAV na nominaljnuyu chastotu 216 MGc // Teoriya i tekhnika radiosvyazi. 2015. № 3. S. 28–39.

[6] Nikitov S.A., Bagdasaryan A.S., Kondratjev S.N., Sinicihna T.V., Mashinin O.V., Gruzdev A.S. Filjtrih na poverkhnostnihyj akusticheskikh volnakh s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu dlya sistem svyazi, radiolokacionnoyj i telekommunikacionnoyj apparaturih na nominaljnuyu chastotu 2170 MGc // Radiotekhnika i ehlektronika. 2016. № 4. S. 389–394.

[7] Bagdasaryan A.S., Sinicihna T.V., Mashinin O.V., Egorov R.V. SVCh filjtrih na PAV s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu dlya sistem i apparaturih peredachi i obrabotki informacii // Trudih NIIR. 2016. № 1. S. 26–31.

[8] Bagdasaryan A.S., Sinicihna T.V. Filjtrih na PAV, vihderzhivayuthie vkhodnuyu mothnostj radiosignala 1-2 Vt, dlya telekommunikacionnoyj apparaturih // Tekhnika radiosvyazi. 2016. № 3 (30). S. 80–89.

[9] Sinicihna T.V., Garifulina A.T. Konstruktivno-tekhnologicheskie osobennosti realizacii filjtrov na PAV s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu // V sb.: Informatika i tekhnologii. Innovacionnihe tekhnologii v promihshlennosti i informatike. Sb. nauch. trudov Mezhdunar. nauch.-tekhnich. konf. Moskovskiyj tekhnologicheskiyj universitet, Fiziko-tekhnologicheskiyj institut. 2016. S. 191–194.

[10] Nakagawara O., Saeki M., Teramoto A., Hasegawa M., Ieki H. High Power Durable SAW Filter with Epitaxial Aluminium Electrodes on 38.5 Rotated Y-X LiTaO3 by Two-Step Process Sequence in Titanium Intermediate Layer // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2003. R. 1734–1737.

[11] Pekarckova M., Hofmann M., Menzel S., Schmidt H., Gemming T., Wetzig K. Investigation of High Power Effects on Ti/Al and Ta-Si-N/Cu/Ta-Si-N Electrodes for SAW Devices // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2005. R. 911–914.

[12] Bagdasaryan A.S., Sinicihna T.V., Gruzdev A.S., Garifulina A.T. Bazovihe konstrukcii filjtrov na PAV s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu dlya radiotekhnicheskikh sistem svyazi // V sb.: Vihsokie tekhnologii v promihshlennosti Rossii. Tonkie plenki v ehlektronike. Nanoinzheneriya. Sb. nauch. trudov KhKhI Mezhdunar. nauch.-tekhnich. konf. XXVIII Mezhdunar. simpoziuma i VIII Mezhdunar. nauch.-tekhnich. konf. 2016. S. 35–41.

[13] Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Butenko V.V., Danilov A.L., Ivanov P.G. Sintez filjtrov na PAV dlya sistem svyazi, radiolokacionnoyj i telekommunikacionnoyj apparaturih // Ehlektrosvyazj. 2016. № 11. S. 81–86.

[14] Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S. Sintez filjtrov na poverkhnostnihkh akusticheskikh volnakh: sistema avtomatizirovannogo proektirovaniya (SAPR) // Teoriya i tekhnika radiosvyazi. 2017. № 4. S. 84–92.

[15] Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Garifulina A.T., Gruzdev A.S., Praporthikov V.V. Sistema avtomatizirovannogo proektirovaniya filjtrov na poverkhnostnihkh akusticheskikh volnakh s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu // Naukoemkie tekhnologii. 2018. № 3. S. 4–9.

[16] Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Garifulina A.T., Gruzdev A.S., Dorofeeva S.S. Konstruktivno-tekhnologicheskie osobennosti ustroyjstv na PAV dlya obrabotki radiochastotnihkh signalov vihsokoyj mothnosti: Issledovaniya sposobov minimizacii poterj v rezonatorakh dlya usloviyj mnogosloyjnogo napihleniya // Naukoemkie tekhnologii. 2018. № 2. S. 46–57.

[17] Sinicihna T.V., Butenko V.V., Bagdasaryan A.S., Garifulina A.T., Gruzdev A.S., Dorofeeva S.S. Minimizaciya iskazheniyj kharakteristik PAV-ustroyjstv, obuslovlennihkh nalichiem parazitnihkh mod vihsshikh poryadkov // Ehlektrosvyazj. 2018. № 2.

[18] Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Nikolaev V.I. Osobennosti proektirovaniya ustroyjstv na poverkhnostnihkh akusticheskikh volnakh volnovodnogo tipa // Teoriya i tekhnika radiosvyazi. 2016. № 2. S. 92–104.

[19] Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Nikolaev V.I., Garifulina A.T., Gruzdev A.S., Dorofeeva S.S. Minimizaciya iskazheniyj kharakteristik PAV-ustroyjstv, obuslovlennihkh nalichiem parazitnihkh ehlementov konstrukcii // Teoriya i tekhnika radiosvyazi. 2018. № 1. S. 112–116.

[20] Bagdasaryan A.S., Sinicihna T.V. Analiz VShP metodom svyazannihkh mod // Sistemih i sredstva svyazi, televideniya i radiovethaniya. 2003. № 1–2. S. 11–15.

[21] Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Butenko V.V., Danilov A.L., Ivanov P.G. Filjtrih na PAV s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu: bazovihe modeli dlya analiza ehlektrodnihkh struktur // Ehlektrosvyazj. 2015. № 10. S. 65–70.

[22] Sinicihna T.V., Bagdasaryan A.S., Praporthikov V.V. Metodih modelirovaniya ustroyjstv na poverkhnostnihkh akusticheskikh volnakh // Materiali Mezhdunar. nauch.-tekhnich. konf. «Informatika i tekhnologii. Innovacionnihe tekhnologii v promihshlennosti i informatike» («MNTK FTI-2017») / Pod red. M.F. Bulatova. 2017. S. 259–261.

[23] Sinicihna T.V., Mashinin O.V., Bagdasaryan A.S., Ljvov V.F., Garifulina A.T. Ispihtaniya PAV-filjtrov na vozdeyjstvie signala s vihsokoyj vkhodnoyj mothnostjyu // Trudih NIIR. 2015. № 4. S. 9–13.

[24] Sinicihna T.V., Garifulina A.T., Gruzdev A.S., Bagdasaryan A.S. Issledovanie ehkspluatacionnihkh kharakteristik PAV filjtrov v usloviyakh povihshennoyj mothnosti vkhodnogo signala // Materiali Mezhdunar. nauch.-tekhnich. konf. «Informatika i tekhnologii. Innovacionnihe tekhnologii v promihshlennosti i informatike» («MNTK FTI-2017») / Pod red. M.F. Bulatova. 2017. S. 253–256.

Abstract

How to cite

Related articles