И.Г. Анцев исполнительный директор, ОАО «НПП «Радар ммс» С.В. Богословский д.т.н., профессор, зам. директора НПК микроэлектроники, микросистемотехники и нанотехнологий, ОАО «НПП «Радар ммс» А.Р. Жежерин к.т.н., доцент, ст. научн. сотрудник, ОАО «НПП «Радар ммс» П.И. Ермаков техник, ОАО «НПП «Радар ммс» E-mail: radar@radar-mms.com

Д.В. Иванов1, В.А. Иванов2, Н.В. Рябова3, А.Р. Лащевский4

1–4 Поволжский государственный технологический университет (г. Йошкар-Ола, Россия)

1 IvanovDV@volgatech.net, 2 IvanovVA@volgatech.net, 3 RyabovaNV@volgatech.net, 4 Lashhev-skijAR@volgatech.net