Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову пористая пленка
ЗОЛЬ-ГЕЛЬ МЕТОД ФОРМИРОВАНИЯ МЕЗАПОРИСТЫХ СИЛИКАТОВ ДЛЯ СИСТЕМ МНОГОУРОВНЕВОЙ РАЗВОДКИ СБИС И МЭМС-ТЕХНОЛОГИИ
В. А. Васильев - с.н.с. МИРЭА. Д. С. Серёгин - аспирант МИРЭА. К. А. Воротилов - д. т. н., профессор, зам. декана по научной работе факультета «Электроника» МИРЭА.