Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову электронно-лучевая литография
Интегрированная экспертная система диагностики качества заготовок для электронно-лучевой литографии
Г.В. Рыбина - д.т.н., профессор, кафедра «Кибернетика», Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ». E-mail: galina@ailab.mephi.ru Ю.М. Блохин - аспирант, кафедра «Кибернетика», Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ». E-mail: galina@ailab.mephi.ru Г.С. Гохберг - к.т.н., доцент, кафедра прикладной математики и вычислительной техники, Ярославский государственный технический университет. E-mail: gohkberggs@ystu.ru А.С. Рудый - д.ф.м.н., профессор, кафедра микроэлектроники, Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, директор Ярославского филиала физико-технологического института РАН. E-mail: rudy@uniyar.ac.ru