Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову функциональный рельеф
Плазмохимическое травление кварцевого стекла гексафторидом серы

Г.Р. Сагателян1, К.Н. Бугорков2, А.Б. Соломашенко3, А.С. Кузнецов4

1–4 МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)