М.С. Шевченко1, Л.В. Филиппенко2, В.П. Кошелец3

1-3 ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН (Москва, Россия)

1 МФТИ (г. Долгопрудный, Россия)

3 Институт физики микроструктур РАН (Москва, Россия)