Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову травления
Плазмохимическое травление кварцевого стекла гексафторидом серы

Г.Р. Сагателян1, К.Н. Бугорков2, А.Б. Соломашенко3, А.С. Кузнецов4

1–4 МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)
 

Снижение радиационных дефектов в МДП-структурах применением многослойного резиста на основе тугоплавкого металла

Н.В. Черкесова1, Г.А. Мустафаев2, А.Г. Мустафаев3

1,2 ФГБОУ ВО «Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова» (г. Нальчик, Россия)
3 ГАОУ ВО «Дагестанский государственный университет народного хозяйства» (г. Махачкала, Россия)
1 natasha07_2002@mail.ru, 2 zoone@mail.ru, 3 arslan_mustafaev@mail.ru