Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову технологические режимы напыления
Влияние технологических факторов магнетронного напыления на сопротивление тонкопленочных резисторов

Г.Р. Сагателян1, С.Ю. Новиков2, А.В. Шишлов3

1–3 МГТУ им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)
1 h_sagatelyan@mail.ru, 2 chyjd@yandex.ru, 3 orange_a@list.ru